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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時(shí)間：2025/6/20 16:32:25
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Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG1400F
Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG1400F
柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機(jī)械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備，通過(guò)創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性。與傳統(tǒng)分子泵相比，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機(jī)制，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點(diǎn)和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢(shì)，同時(shí)通過(guò)柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù)，使泵體能夠在傾斜、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作。
柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵的技術(shù)特點(diǎn)
1. 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵采用模塊化轉(zhuǎn)子組件，各級(jí)轉(zhuǎn)子通過(guò)柔性聯(lián)軸器連接，允許微小的相對(duì)位移。軸承系統(tǒng)通常采用混合陶瓷軸承或磁懸浮軸承，配合主動(dòng)振動(dòng)控制系統(tǒng)，確保在不同工作姿態(tài)下的運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。泵殼設(shè)計(jì)考慮了熱膨脹系數(shù)匹配問(wèn)題，采用特殊合金材料制造，保證溫度變化時(shí)的幾何精度。
2. 抽氣機(jī)制復(fù)合性
前級(jí)采用渦輪分子泵結(jié)構(gòu)，由20-40級(jí)動(dòng)葉片和靜葉片交替排列組成，實(shí)現(xiàn)氣體的初步壓縮；后級(jí)轉(zhuǎn)為螺旋牽引結(jié)構(gòu)，通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的螺旋槽與靜止壁面形成分子流，將氣體進(jìn)一步壓縮至可被前級(jí)泵處理的壓力范圍。這種復(fù)合設(shè)計(jì)使泵在10-10?Pa范圍內(nèi)都能保持較高抽速。
3. 姿態(tài)適應(yīng)性技術(shù)
通過(guò)六維力傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泵體受力狀態(tài)，結(jié)合主動(dòng)平衡控制系統(tǒng)動(dòng)態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡。采用抗傾覆軸承設(shè)計(jì)和分布式潤(rùn)滑系統(tǒng)，確保泵在±30°傾斜范圍內(nèi)正常工作。部分型號(hào)還配備姿態(tài)記憶功能，可自動(dòng)恢復(fù)工作參數(shù)。
| 型 | TG1400F | |
| 進(jìn)氣法蘭 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1400 |
| N2（帶保護(hù)網(wǎng)） （升/秒） | 1300 | |
| H2 （升/秒） | 750 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 極限壓力 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流速※1 | （SCCM） | 450 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | （分鐘） | 5.5-7 |
| 停機(jī)時(shí)間 | （分鐘） | 15-18 |
| 允許的輔助壓力 | （帕/托爾） | 330/2.5 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 安裝姿勢(shì) | 自由 | |
| 質(zhì)量 | VG/ISO-B/CF（千克） | 29/30 |
| 控制器類型 | TC1103 系列 | |
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