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供應(yīng)簡(jiǎn)介

渦輪分子泵作為高真空技術(shù)的核心設(shè)備，其性能直接影響整個(gè)真空系統(tǒng)的表現(xiàn)。隨著中國(guó)在高科技領(lǐng)域的快速發(fā)展，渦輪分子泵的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在加速，性能已逐步接近優(yōu)良水平。在半導(dǎo)體設(shè)備自主可控的戰(zhàn)略背景下，渦輪分子泵的研發(fā)與制造已成為國(guó)家科技競(jìng)爭(zhēng)力的重要體現(xiàn)。

詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG2400MI

對(duì)于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機(jī)構(gòu)，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)磁浮軸承渦輪分子泵反應(yīng)產(chǎn)物的對(duì)策

一種加熱包括目標(biāo)部分在內(nèi)的整個(gè)周圍區(qū)域并分散熱量的方法。它不能被有效地使用。

? 目標(biāo)區(qū)域外的熱效應(yīng)

TGkineMI-B 系列的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效地利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體產(chǎn)生的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率，提高節(jié)能效果！

?減少對(duì)主要部件的熱影響，減少對(duì)泵的損傷。

?保持優(yōu)良溫度，防止在排氣管中產(chǎn)生產(chǎn)品。

用

半導(dǎo)體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備

易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備

核心技術(shù)特征

優(yōu)良密封技術(shù)

磁流體密封（轉(zhuǎn)速>90,000 rpm）

雙級(jí)機(jī)械密封

金屬波紋管密封

智能控制系統(tǒng)

變頻驅(qū)動(dòng)（節(jié)能30%）

真空度PID調(diào)節(jié)

物聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程監(jiān)控

特殊材料應(yīng)用

陶瓷轉(zhuǎn)子（耐腐蝕）

聚醚醚酮（PEEK）葉片

不銹鋼流道

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