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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時(shí)間：2025/6/19 16:43:55
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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG553
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG553
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
| 進(jìn)氣法蘭 | VG150 CF160 ISO-B160 標(biāo)準(zhǔn) | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 550 |
| N2（帶保護(hù)網(wǎng)） （升/秒） | 430 | |
| H2 （升/秒） | 370 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 3×103 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6/< 1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 1500 |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | （分鐘） | 8-13 |
| 停機(jī)時(shí)間 | （分鐘） | 8-11 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 300/2.3 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | 250 |
| 潤滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安裝姿勢(shì) | 垂直 （±10°） | |
| 質(zhì)量 | （公斤） | 41 |
| 控制器類型 | TC553 系列 | |
用
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?管材、光學(xué)元件的制造
?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
* 對(duì)于清潔工藝，請(qǐng)選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
渦輪分子泵的顯著特點(diǎn)
（一）結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)特征
多級(jí)渦輪葉片組（通常10-20級(jí)）
精密加工的鋁合金或鈦合金轉(zhuǎn)子
超精密軸承系統(tǒng)（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）
緊湊的模塊化設(shè)計(jì)
內(nèi)置智能控制系統(tǒng)
（二）性能參數(shù)特點(diǎn)
工作壓力范圍：10?3至10?11mbar
壓縮比高達(dá)101?（對(duì)氮?dú)猓?/p>
抽速范圍：10-5000L/s
啟動(dòng)時(shí)間短（3-15分鐘）
（三）運(yùn)行維護(hù)特點(diǎn)
需要前級(jí)泵（通常為旋片泵或干泵）支持
對(duì)振動(dòng)和沖擊敏感
定期軸承維護(hù)要求
自動(dòng)保護(hù)功能完善（過載、過熱等）
高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 - 主營產(chǎn)品： 主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn) ...
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