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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
產品介紹
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100L
質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業(yè)設備。作為現代工業(yè)自動化過程控制的核心組件，MFC通過將質量流量傳感器、控制閥和比例積分微分（PID）控制電路集成于一體，實現對流體流量的高精度閉環(huán)控制，典型控制精度可達±0.5%～±1.0%滿量程（FS）。
質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節(jié)控制閥的開度，以此進行流量的控制。
心技術架構
傳感系統：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計，溫度分辨率達0.01℃
壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）
科里奧利式：直接質量測量，精度可達±0.1%讀數
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
氣體隔膜隔離閩體及驅動裝置，極大地減小閉死容積。這些特殊設計，可以增強氣體的流通，降低污染物影響，使設備具備高澄換性，保證更長的使用壽命，也更適合于液化氣體等優(yōu)勢。
關鍵性能指標
參數標準型號高性能型號
量程范圍0.5-5000 SCCM0.1-10000 SLM
控制精度±1.0% FS±0.5% RD
重復性±0.2% FS±0.1% FS
響應時間<1s<300ms
工作壓力0.1-0.5MPa真空-10MPa
溫度系數±0.05%/℃±0.01%/℃
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