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TG390MOsaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
參考價: 6500
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • TG390M 產(chǎn)品型號
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):65更新時間:2025-03-29 14:39:29

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產(chǎn)品簡介
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵
省電設(shè)計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品介紹

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵

省電設(shè)計,運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器,也可以傳輸數(shù)據(jù)。

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國際標準:NRTL/SEMI-S2/CE

Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵


渦輪分子泵是一種高真空泵,通過高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片將氣體分子從進氣口定向抽向排氣口,通常與前級泵(如旋片泵)聯(lián)用,實現(xiàn)10?11~10?1 Pa(超高真空至中真空)的壓力范圍。其特點是無油污染、抽速快,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、科研、鍍膜等領(lǐng)域。

結(jié)構(gòu)與工作原理

(1)核心組件

轉(zhuǎn)子葉片:多級鋁合金或鈦合金渦輪葉片(轉(zhuǎn)速約20,000~90,000 RPM)。

定子葉片:與轉(zhuǎn)子交錯排列,形成氣體通道。

電機:高頻交流電機或磁懸浮軸承電機(避免機械磨損)。

排氣口:連接前級泵(如旋片泵),排出壓縮后的氣體。

(2)工作原理

動量傳遞:高速旋轉(zhuǎn)的葉片撞擊氣體分子,使其向下級運動(分子流態(tài)下有效)。

壓縮比:每級葉片對氣體進行壓縮,最終由前級泵排至大氣。

工作壓力范圍:依賴分子流狀態(tài)(需氣體分子平均自由程>葉片間距)。

?? 注:渦輪分子泵在**分子流態(tài)(壓力<10?1 Pa)**下效率高,需避免大氣壓下啟動(會過熱損壞)。



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