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MC-5470LLINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價(jià): | ￥ 25130 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- MC-5470L 產(chǎn)品型號(hào)
- LINTEC/琳得科 品牌
- 經(jīng)銷(xiāo)商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：128更新時(shí)間：2025-03-27 15:52:29
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
產(chǎn)品介紹
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-5470L
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。
核心技術(shù)架構(gòu)
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細(xì)管式或旁路式設(shè)計(jì)，溫度分辨率達(dá)0.01℃
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 200SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。利用產(chǎn)生的電力和氣體流量的比例做比對(duì)、計(jì)算出流體的正確流量。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）
鋰電材料燒結(jié)（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動(dòng)<±0.3%）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
凍干機(jī)惰性氣體保護(hù)（露點(diǎn)控制<-70℃）
無(wú)菌灌裝環(huán)境控制（ISO 5級(jí)潔凈度
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