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TG220FOsaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵
參考價(jià): 3200
訂貨量: 1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • TG220F 產(chǎn)品型號(hào)
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 經(jīng)銷(xiāo)商 廠(chǎng)商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪(fǎng)問(wèn)次數(shù):94更新時(shí)間:2025-03-27 15:45:58

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
Osaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵
靈活的安裝姿勢(shì)、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動(dòng)、可快速停止排氣、能夠進(jìn)入大氣層、可以進(jìn)行串行通信
產(chǎn)品介紹

Osaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵

?半導(dǎo)體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理、表面改性

?各種電子元件的制造

?分析、檢測(cè)設(shè)備

?管材、光學(xué)元件的制造

?加速器、放射線(xiàn)設(shè)施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

* 排放腐蝕性氣體時(shí),請(qǐng)選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。


Osaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵

靈活的安裝姿勢(shì)

緊湊的尺寸

節(jié)能

快速啟動(dòng)

可快速停止排氣

與大氣層入口兼容* 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 400 次大氣涌動(dòng)測(cè)試

可以進(jìn)行串行通信

符合安全標(biāo)準(zhǔn)的 NRTL/SEMI-S2/CE


[ 工作環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度為 10~23°C。 允許環(huán)境溫度為風(fēng)冷 10~32°C,水冷 10~40°C。 極限壓力保證:冷卻水溫度不大于30°C,允許冷卻水溫度為10~35°C。

[ 支持的氣體類(lèi)型 ]

根據(jù)吸入氣體的類(lèi)型,它可能會(huì)使軸承潤(rùn)滑脂和內(nèi)部組件變質(zhì)。 請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容的氣體類(lèi)型。


TG220F 系列
進(jìn)氣法蘭VG100/ISO-R100/CF100
抽速N2 (升/秒)220
N2(帶保護(hù)網(wǎng)) (升/秒)210
H2 (升/秒)100
最大壓縮比N21×108
H24×102
極限壓力(帕/托爾)<1×10-6/<7.5×10-9
最大氣體流速※1(SCCM)400
啟動(dòng)時(shí)間(分鐘)1-1.2
停機(jī)時(shí)間(分鐘)2.5-3.5
允許的輔助壓力(帕/托爾)260/2
推薦的輔助泵(升/分鐘)≧80
安裝姿勢(shì)自由
質(zhì)量VG/ISO-R/CF(千克)5.5/8
控制器類(lèi)型TC223 系列




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