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TG50FOsaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵
| 參考價: | ￥ 3200 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)- TG50F 產(chǎn)品型號
- OSAKA大阪真空 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：85更新時間：2025-03-27 15:40:15
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產(chǎn)品簡介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
靈活的安裝姿勢、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動、可快速停止排氣、能夠進(jìn)入大氣層、可以進(jìn)行串行通信
產(chǎn)品介紹
Osaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵
?半導(dǎo)體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?分析、檢測設(shè)備
?管材、光學(xué)元件的制造
?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究
?熱處理
?研發(fā)
* 排放腐蝕性氣體時，請選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。
Osaka Vacuum大阪真空 復(fù)合分子泵
靈活的安裝姿勢、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動、可快速停止排氣、能夠進(jìn)入大氣層、可以進(jìn)行串行通信
[ 工作環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度為 10~23°C。 允許環(huán)境溫度為風(fēng)冷 10~32°C，水冷 10~40°C。 極限壓力保證：冷卻水溫度不大于30°C，允許冷卻水溫度為10~35°C。
根據(jù)吸入氣體
的類型，它可能會使軸承潤滑脂和內(nèi)部零件變質(zhì)。 請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
| 進(jìn)氣法蘭 | VG65 ISO-R63 CF63 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 51 |
| N2（帶保護(hù)網(wǎng)） （升/秒） | 49 | |
| H2 （升/秒） | 12 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1,4×10%7 |
| H2 | 5×102 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-R/CF （帕） | <3×10-6 |
| VG?ISO-R/CF （托） | <2.3×10-8 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 80 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 1-1.5 |
| 停機(jī)時間 | （分鐘） | 1-1.5 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 1330 / 10 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧50 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 質(zhì)量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 4.2 / 6 |
| 控制器類型 | TC64 系列 | |
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