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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司
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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)NE-5700/NE-7800

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時(shí)間:2024-11-25 14:24:33瀏覽次數(shù):150次

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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科NE-5700/NE-7800半導(dǎo)體干法刻蝕設(shè)備
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批量生產(chǎn)的干法刻蝕設(shè)備NE-5700/NE-7800

適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設(shè)備是一款可擴(kuò)展的刻蝕設(shè)備,支持從一個(gè)腔室到多個(gè)腔室,強(qiáng)調(diào)性?xún)r(jià)比。


特征

  • 除1個(gè)腔體外,還可配備磁場(chǎng)ICP(ISM)、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體,兼容多種刻蝕工藝。

  • 配備星形電極和各種溫度控制功能,可實(shí)現(xiàn)過(guò)程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。

  • 易于維護(hù)的結(jié)構(gòu),停機(jī)時(shí)間最短,全面的備份系統(tǒng),包括再生清潔、零件供應(yīng)、維護(hù)和培訓(xùn)服務(wù)。

  • 半導(dǎo)體技術(shù)研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

目的

  • 化合物(LED、LD、高頻器件)和功率器件(IGBT 布線加工、SiC 加工)。

  • 用于金屬布線、層間絕緣膜(樹(shù)脂類(lèi))、柵電極加工工序。

  • 用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。

  • 用于加工磁性材料。

特別提示:商品詳情頁(yè)中(含主圖)以文字或者圖片形式標(biāo)注的搶購(gòu)價(jià)等價(jià)格可能是在特定活動(dòng)時(shí)段下的價(jià)格,商品的具體價(jià)格以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達(dá)成的實(shí)際成交價(jià)格為準(zhǔn);如您發(fā)現(xiàn)活動(dòng)商品價(jià)格或活動(dòng)信息有異常,建議購(gòu)買(mǎi)前先咨詢(xún)商家。


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