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舜宇金相顯微鏡:300mm晶圓與17英寸液晶面板檢測的新目標(biāo)

閱讀:919      發(fā)布時(shí)間:2025-1-20
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  在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造與液晶面板檢測領(lǐng)域,對(duì)微觀結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)的精準(zhǔn)把控是確保產(chǎn)品質(zhì)量與性能的關(guān)鍵。舜宇金相顯微鏡,憑借其杰出的性能與廣泛的應(yīng)用能力,已成為300mm晶圓及17英寸液晶面板檢測領(lǐng)域的新目標(biāo)。
  舜宇金相顯微鏡采用了突破性的大金相機(jī)架設(shè)計(jì),可承載8英寸超大工作平臺(tái),并最大支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查。這一設(shè)計(jì)不僅滿足了大型樣品的檢測需求,還確保了檢測過程中的穩(wěn)定與精確。同時(shí),該顯微鏡配備了多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查,進(jìn)一步提高了檢測的靈活性和適用性。
  在成像性能上,它采用了新照明系統(tǒng)和光學(xué)系統(tǒng),照明均勻,成像清晰。其全新的觀察筒設(shè)計(jì),采用寬光束成像系統(tǒng),最大觀察視野可達(dá)26.5mm,為用戶帶來了全新的大視野體驗(yàn)。此外,該顯微鏡還配置了高透過率的鏡片和先進(jìn)的鍍膜技術(shù),可真實(shí)還原樣品的自然色彩,確保檢測結(jié)果的準(zhǔn)確與可靠。
  舜宇金相顯微鏡還具備強(qiáng)大的檢測功能。它集成了明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行功能選擇。其中,諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)可將明場觀察下無法檢測的細(xì)微高低差轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度的明暗差,并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來,廣泛用于LCD導(dǎo)電粒子、精密磁盤表面劃痕檢測等領(lǐng)域。
 

 

  綜上所述,舜宇金相顯微鏡以其杰出的性能、廣泛的應(yīng)用能力和精準(zhǔn)的檢測功能,在300mm晶圓及17英寸液晶面板檢測領(lǐng)域樹立了新的目標(biāo)。它不僅滿足了現(xiàn)代半導(dǎo)體制造與液晶面板檢測的高精度需求,還為科研人員提供了更加便捷、高效的檢測手段,推動(dòng)了相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步與發(fā)展。
 

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