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半導(dǎo)體烘箱外觀結(jié)構(gòu)：  

外殼采用A3冷軋鋼板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防銹處理后烤漆，工作室采用SUS304#潔凈不銹鋼板滿焊、耐高溫密封處理  

工作室內(nèi)百級，采用進(jìn)口H14耐高溫高效過濾器，過濾率0.3μm粒子99.995％以上  

隔熱層采用120mm厚100K高密度硅酸鋁纖維保溫材料，表面溫度＜45℃  

門框密封采用無氟硅橡膠密封條，耐高溫，抗老化  

隔板可調(diào)整高度及增減數(shù)量  

半導(dǎo)體烘箱風(fēng)路系統(tǒng)：  

采用密封內(nèi)循環(huán)風(fēng)路，減少氮氣消耗  

采用倒U型風(fēng)道結(jié)構(gòu)設(shè)計，箱內(nèi)兩側(cè)單向水平送風(fēng)，風(fēng)道倉內(nèi)強(qiáng)壓送風(fēng)  

特殊可調(diào)導(dǎo)風(fēng)板設(shè)計，保障工作室內(nèi)送風(fēng)均勻  

大功率三相異步耐高溫長軸馬達(dá)，不銹鋼渦輪扇葉（出廠動平衡調(diào)整）結(jié)合不銹鋼蝸牛殼結(jié)構(gòu)結(jié)合兩側(cè)不銹鋼沖孔風(fēng)板，風(fēng)力強(qiáng)勁，送風(fēng)均勻，平穩(wěn)，工作噪音<65dB  

溫控系統(tǒng)：  

不銹鋼無塵加熱器，潔凈無塵  

PLC+7寸彩色觸摸屏，HMI人機(jī)交互系統(tǒng)，中文操作界面，全自動程序運行模式，PID智能演算，自動恒溫，超溫保護(hù)，傳感器斷線保護(hù)，斷電記憶功能，帶氧含量、溫度值，工作狀態(tài)（排氧、維持、加熱、電磁閥、及故障等）監(jiān)控界面、程序設(shè)定界面、歷史曲線界面、歷史數(shù)據(jù)功能，可通過USB導(dǎo)出數(shù)據(jù)，搭配PC端溫度數(shù)據(jù)處理軟件  

采用導(dǎo)軌式智能AI溫度控制模塊，控溫精度0.1級，自動恒溫，智能PID演算，帶30段程序升溫，帶傳感器斷線警報，AT自整定，超溫控制，斷電記憶功能，控溫準(zhǔn)，穩(wěn)定性好  

高精度PT100不銹鋼鎧裝鉑金電阻溫度傳感器  

安全系統(tǒng)：  

按鍵鎖  

超溫保護(hù)  

電流過載保護(hù)  

漏電保護(hù)  

接地保護(hù)

規(guī)格參數(shù)：