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當前位置：深圳市科時達電子科技有限公司>>激光設備>> 德國尤尼坦 大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品 VPO-300
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地深圳市
更新時間：2023-02-21 19:22:46瀏覽次數(shù)：213次
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德國尤尼坦 大尺寸快速退火爐(12英寸) - 適合光伏樣品 VPO-
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快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；
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