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閱讀：639 發(fā)布時間：2022-6-1
QUANTAX能譜儀配有界面友好、功能強大的ESPRIT軟件。該軟件標配中、英文界面。應用該軟件可進行無標樣定量分析，和有標準定量分析，或二種方法結合使用。另外，還可進行點、線、面分析，線掃描，面分布，超級面分布，相分析，顆粒分析，鋼鐵分析，槍擊殘留物分析等等。適合不同電子顯微鏡極靴類型的的EDS細管徑設計和優(yōu)化的EDS幾何構型確保了MAX信號采集角和檢出角。
X射線顯微分析是一種在電子顯微鏡中經(jīng)常用到的測量固體樣品、薄膜、微?；瘜W成分的分析技術。該技術應用一種能量色散X射線光譜儀(EDS)能同時探測和分析低至Be的所有元素。該技術從一個微米級的樣品區(qū)域獲得元素信息，提供低至0.1%質(zhì)量百分數(shù)的檢出限，這些特性使得X射線顯微分析成為靈敏的分析方法之一。
QUANTAX能譜儀的探頭水平放置于電鏡極靴的正下方，探頭組件由四個獨立的硅漂移芯片組成，它們環(huán)形排列于中心孔四周，入射電子束從該中心孔穿過。這一設計使得平插式能譜儀在保留高能量分辨率的同時具有超高的計數(shù)率和空間分辨率。特別適用于以下領域在低束流和極低束流下(<10pA)，分析束流敏感樣品，如生物或半導體樣品；分析表面不平整樣品，消除陰影效應；在低加速電壓和高放大倍數(shù)下，分析納米顆粒和納米結構；可測試超薄樣品(如TEM樣品)。