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關(guān)于冷場發(fā)射電子顯微鏡,你了解有多少?

閱讀:1058        發(fā)布時(shí)間:2022-5-25
   冷場發(fā)射電子顯微鏡是依據(jù)高能電子束和固體樣品表面作用時(shí)產(chǎn)生的物理現(xiàn)象。利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、特征x射線、背散射電子、透射電子等信息。通過對(duì)這些信息的接收、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。
  
  冷場發(fā)射電子顯微鏡還有一些需要了解的概念:
  1、二次電子是指被入射電子轟擊出來的核外電子。當(dāng)原子的核外電子從入射電子獲得了大于原子核和外層價(jià)電子間相應(yīng)的結(jié)合能的能量后,可脫離原子成為自由電子。如果這種散射過程發(fā)生在比較接近樣品表處,那些能量大于材料逸出功的自由電子可從樣品表面逸出,變成真空中的自由電子,即二次電子。
  2、背散射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子。
  3、光源為高速運(yùn)動(dòng)的電子束,通過場發(fā)射產(chǎn)生(單晶鎢),冷場掃描電鏡的電子槍由特殊的鎢做成,在室溫下可以產(chǎn)生電子束;得到的電子通過磁透鏡進(jìn)行匯聚,可以避免其它電子的軌跡的干擾;用掃描線圈進(jìn)行樣品掃描,它提供與電子束同步的掃描信號(hào);通過相應(yīng)的接收器進(jìn)行接收之后進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)換,有相應(yīng)的信號(hào)檢測放大系統(tǒng),信號(hào)強(qiáng)度隨物體表面的情況而變化,在屏幕上顯示出放大數(shù)倍的圖像。
  
  儀器用途:
  顯微結(jié)構(gòu)的分析:材料的形貌、結(jié)構(gòu)、缺陷和界面的微觀分析,包括衍襯成像,電子衍射,高分辨分析;
  材料微觀結(jié)構(gòu)成分分析:成分的定性和半定量分析,元素的點(diǎn)、線和面分析,材料的形貌、結(jié)構(gòu)、缺陷和界面的微觀分析。

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