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四探針測試儀 HD-RTS-8
閱讀：258 發(fā)布時間：2025-7-1四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀
型號：HD-RTS-8
HD-RTS-8型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。
技 術(shù) 指 標 ：
測量范圍 電阻率：10-4～105 Ω.cm（可擴展）；
方塊電阻：10-3～106 Ω/□（可擴展）；
電導率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω；
可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進行） 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量大相對誤差 （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機測量標準不確定度 ≤5%
計算機通訊接口 并口
標準使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭、