弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設(shè)備

對高通量要求的PV工廠中多晶和類單晶錠進(jìn)行電學(xué)參數(shù)測試表征，在1mm分辨率下的總測量時(shí)間少于一分鐘。

產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)SEMI PV9-1110
對半導(dǎo)體材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行非接觸和非破壞性測試
對少子壽命參數(shù)可做面掃描測試
對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度
對鐵濃度分布做面掃描自動(dòng)設(shè)置硅錠切割標(biāo)準(zhǔn)
對硅錠少子壽命的穩(wěn)態(tài)測試，可硅錠的性能
自動(dòng)化的集成設(shè)計(jì)低成本測試
對光伏級別的硅錠進(jìn)行2D成像掃描測試，
對一個(gè)硅錠，可在一分鐘內(nèi)完成分辨率低于1mm的成像測試

產(chǎn)品優(yōu)勢

MDPinline ingot對有高通量要求PV工廠里的多晶硅錠電學(xué)參數(shù)，具備在線測試速度：在1分鐘內(nèi)可完成分辨率大于1mm的成像掃描測試，同時(shí)可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的線掃描測試?？蛻糁贫ǖ墓桢V切割標(biāo)準(zhǔn)，可通過數(shù)據(jù)中心，對下一代PV工廠的材料制備進(jìn)行全自動(dòng)監(jiān)控，完成對材料生長質(zhì)量控制，坩堝狀況監(jiān)控，以及各種失效分析。通過的“underneath thesurface”測試技術(shù)，可減少由表面復(fù)合引起的數(shù)據(jù)失真情況出現(xiàn)。

弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設(shè)備

MDPinline ingot系統(tǒng)是范圍內(nèi)的測量工具，可用于對多晶硅和類單晶硅錠進(jìn)
行電學(xué)表征。專為高通量工廠中的單個(gè)晶錠測試而開發(fā)，每個(gè)晶錠都可在1分鐘內(nèi)完成所有面的電學(xué)
參數(shù)表征測試參數(shù)包括1mm分辨率的少子壽命面掃描分布，電導(dǎo)類型分布圖，以及電阻率線掃描分布圖。

該系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處理，傳輸和存儲(chǔ)，以及評估系統(tǒng)。提供全自動(dòng)的硅錠切割位置，用于產(chǎn)能，材料質(zhì)量監(jiān)控，坩堝選擇和工藝優(yōu)化等。