Yamato雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐

特點

最高工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級、氧濃度低于 20ppm，主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓（光刻膠PI、PBO固 化）、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。 采用耐熱高性能高效過濾器，箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級，可 在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。 高氣密性的壓力箱構(gòu)造，氧濃度到達時間短，N2消耗量極低。 通過磁密封保持高氣密性，并采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受 熱量影響。 可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調(diào)節(jié)。 標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。

擁有門檢測開關(guān)、溫度過升防止器、氧濃度異常、氮氣壓力檢 測、氮氣流量檢測、冷卻水流量檢測、漏水傳感器、過電流漏 電漏電保護開關(guān)等安裝裝置。

Yamato雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐

支持各個領(lǐng)域的研究開發(fā)以及生產(chǎn)技術(shù)的革新、

為科學(xué)技術(shù)的進步和發(fā)展做出貢獻。

作為雅馬拓科學(xué)集團的重要一員，不斷向客戶提供最新、最有價值的產(chǎn)品和確保安全、令客戶安心的服務(wù)，與集團公司通力合作，積極

拓展集團事業(yè)。

為達到目標，本公司以實驗室儀器、實驗室設(shè)備、產(chǎn)業(yè)機器為產(chǎn)品核心，進行設(shè)計開發(fā)、生產(chǎn)、銷售和服務(wù)，通過建立高效的團隊、先

進的裝備、完善的體制，來向客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)。

秉承企業(yè)的經(jīng)營理念，所有企業(yè)活動都積極配合環(huán)境保護活動，以實現(xiàn)公司盈利的同時也能達到環(huán)境保護為目標。

1. 遵守環(huán)境保護的相關(guān)法律

 ?遵守國家環(huán)境保護的相關(guān)法律和企業(yè)對于環(huán)境保護制定的相關(guān)規(guī)定。

2. 以減少環(huán)境污染為宗旨，改善作業(yè)流程

 ?有效利用資源和能量、減少廢棄物，消除作業(yè)過程中的浪費、不合理等現(xiàn)象。

3. 推進以減少環(huán)境負荷為宗旨的企業(yè)活動

 ?積極推進從設(shè)計、采購、生產(chǎn)到銷售、物流、使用、再生、廢棄整個作業(yè)流程以降低環(huán)境負荷為主的活動。

4. 開發(fā)環(huán)保型商品和體系

 ?致力于環(huán)境保護技術(shù)的提高，并且貫穿于整個產(chǎn)品的開發(fā)過程，開發(fā)環(huán)保產(chǎn)品和系統(tǒng)。

5. 環(huán)境管理系統(tǒng)的充實與開展

 ?制定環(huán)境方針的目的、目標，通過定期的評估達到連續(xù)改進和預(yù)防污染的效果。

6. 環(huán)境方針政策的通知與公開

及時讓公司全體員工了解有關(guān)環(huán)境保護的方針政策，向全體員工推行“充分理解后再行動"的環(huán)境知識普及活動，并且

將公司制定的有關(guān)環(huán)境保護的方針政策向外界公布。