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近日第一臺(tái)新設(shè)備DL81/82 研磨拋光機(jī)順利完成安裝,這一里程碑式的進(jìn)展標(biāo)志著我國在晶圓制造領(lǐng)域取得了重大突破。該設(shè)備由英國Logitech公司自主研發(fā),集成了多項(xiàng)先進(jìn)技術(shù),將為國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展提供強(qiáng)有力的支持。
此次安裝工作由Logitech China 的專業(yè)技術(shù)人員和英國工程師攜手完成,他們?cè)诎惭b過程中嚴(yán)格遵循操作規(guī)程,確保每一個(gè)環(huán)節(jié)都達(dá)到最佳狀態(tài)。從設(shè)備的拆箱、定位到工藝調(diào)試,安裝團(tuán)隊(duì)經(jīng)過一周的緊張工作,完成了設(shè)備的安裝和初步調(diào)試。在安裝完成后,團(tuán)隊(duì)還對(duì)設(shè)備進(jìn)行了全面的性能測(cè)試,結(jié)果顯示,DL81/82 研磨拋光機(jī)各項(xiàng)性能指標(biāo)均達(dá)到或超過設(shè)計(jì)要求,具備了正式投入生產(chǎn)的條件。
DL81研磨拋光設(shè)備為研磨拋光一體機(jī)??杉嫒輼悠烦叽鐬?2英寸及以下,雙頭設(shè)計(jì)。
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