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TMC MaxDamp™-針對(duì)動(dòng)態(tài)載荷和偏移載荷的氣浮支腿系統(tǒng)

閱讀:1960      發(fā)布時(shí)間:2019-10-8
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MaxDamp是TMC在氣浮光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)上針對(duì)動(dòng)態(tài)載荷或偏移載荷產(chǎn)品的一個(gè)創(chuàng)新。

在需要震動(dòng)隔離的實(shí)驗(yàn)室里經(jīng)常遇到桌面上有動(dòng)態(tài)載荷或者高速移動(dòng)的有效載荷,普通的光學(xué)平臺(tái)支腿很難在這種條件下同時(shí)保持氣浮桌面的穩(wěn)定性和平臺(tái)隔振的有效性,但MaxDamp的出現(xiàn)有效的解決了這些問(wèn)題。

MaxDamp®將TMC傳統(tǒng)的Gimbal Piston空氣隔振器與內(nèi)部防篡改粘性阻尼相結(jié)合,為此類(lèi)應(yīng)用提供了額外的阻尼。

當(dāng)需要較高阻尼時(shí),它將成為合適的一個(gè)選擇,而且它的減振性能只是略微有一點(diǎn)減弱,卻獲得了更快的有效負(fù)載穩(wěn)定時(shí)間和更高的阻尼水平。

MaxDamp適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高負(fù)載偏移、高速XY電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷,如半導(dǎo)體檢測(cè)、光刻機(jī)以及其他具有相對(duì)較高動(dòng)態(tài)載荷的電動(dòng)工作臺(tái)的儀器,對(duì)于具有機(jī)器人運(yùn)動(dòng)或電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷,MaxDamp®提供的有效隔振并主動(dòng)穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動(dòng)更使其成為*的解決方案。

 

如果您的動(dòng)態(tài)載荷或偏移載荷非常大,MaxDamp®的阻尼性依舊不能滿(mǎn)足您的需求,那么UltraDamp™ - zui高阻尼空氣隔振系統(tǒng) 將會(huì)滿(mǎn)足您的這些zui高阻尼需求。

 

性能特點(diǎn):

1. 從4-5 Hz開(kāi)始的水平和垂直隔振
2 共振的zui小放大(3-5 dB)

3模塊化設(shè)計(jì)。

4結(jié)合了自調(diào)平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢(shì),并具有高阻尼作用

5可升級(jí)到Electro-Damp®主動(dòng)隔振

6非常適合具有機(jī)器人運(yùn)動(dòng)或電動(dòng)工作臺(tái)的有效載荷,可提供所需的隔振并主動(dòng)穩(wěn)定有效負(fù)載引起的運(yùn)動(dòng)

 

TMC的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平對(duì)比圖表:

GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™的訂購(gòu)示例表:

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