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產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	50萬(wàn)-100萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子/電池,航空航天

PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-300高級(jí)版

（PICOSUN™ ALD P-300 Advanced）

名稱(chēng)：原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)地：芬蘭

PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-300高級(jí)版

Picosun簡(jiǎn)介

Picosun是yi家公司，Picosun的總部位于芬蘭的Espoo，其生產(chǎn)設(shè)施位于芬蘭的Masala（Kirkkonummi）。PICOSUN®ALD設(shè)備專(zhuān)為高產(chǎn)量和高產(chǎn)量而設(shè)計(jì)，并且不斷發(fā)展以提高效率。Picosun適應(yīng)性強(qiáng)其客戶(hù)包括大的電子制造商，小型的創(chuàng)新型挑戰(zhàn)者以及的大學(xué)。 Picosun的組織機(jī)構(gòu)和種類(lèi)繁多的ALD解決方案都可以滿(mǎn)足每個(gè)客戶(hù)的需求。PICOSUN®研發(fā)工具具有*的內(nèi)置可擴(kuò)展性，可確保將研究結(jié)果平穩(wěn)過(guò)渡到大批量工業(yè)制造中，而不會(huì)出現(xiàn)技術(shù)差距。Picosun的熱情在于創(chuàng)新。當(dāng)您想與設(shè)備制造商共同創(chuàng)建定制的ALD解決方案，從而引ling行業(yè)發(fā)展時(shí)，Picosun是您的合作伙伴。

PICOSUN™ R系列設(shè)備提供高質(zhì)量ALD薄膜的沉積技術(shù)，并在各種各樣的襯底上都表現(xiàn)的均勻性，包括具挑戰(zhàn)性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。我們?yōu)橐后w、氣體和固體化學(xué)物提供的更高級(jí)的，易更換的前驅(qū)源系統(tǒng)，能夠在晶圓、3D樣品和各種納米特性的樣品上生長(zhǎng)顆粒度小的薄膜層。在基本的PICOSUN™ R系列配置中可以選擇多個(gè)獨(dú)立的，*分離的源入口匹配多種類(lèi)型的前驅(qū)源。PICOSUN™ R系列*的擴(kuò)展性使ALD工藝可以從研究環(huán)境直接過(guò)渡到生產(chǎn)環(huán)境的PICOSUN™ P系列ALD系統(tǒng)。由于研發(fā)型與生產(chǎn)型PICOSUN™反應(yīng)腔室核心設(shè)計(jì)特點(diǎn)都是相同的,這消除了實(shí)驗(yàn)室與制造車(chē)間之間的鴻溝。對(duì)大學(xué)來(lái)說(shuō),突破創(chuàng)新的技術(shù)轉(zhuǎn)化到生產(chǎn)中，就會(huì)吸引到企業(yè)投資。

PICOSUN原子層沉積系統(tǒng)ALD R-300高級(jí)版

PICOSUN®R-300高級(jí)

Picosun™ 300mm生產(chǎn)線上的產(chǎn)品是300mm以下晶圓的自動(dòng)化、高產(chǎn)量的工業(yè)ALD加工設(shè)備。包括PICOSUN™ P系列Pro和Advanced ALD設(shè)備。該工具可以獨(dú)立工作，也可以集成到PICOPLATFORM™300真空集群系統(tǒng)以達(dá)到更高的產(chǎn)量和自動(dòng)化水平。為了節(jié)約昂貴的設(shè)施空間，所有PICOSUN™的ALD系統(tǒng)有著緊湊、高效的設(shè)計(jì)。集成的專(zhuān)業(yè)機(jī)柜，裝載著前驅(qū)體和電子元件，保證了快速簡(jiǎn)便的維護(hù)和短的停機(jī)時(shí)間。PICOSUN™ P系列工具保證了大產(chǎn)能以及節(jié)約成本的情況下得到的ALD工藝質(zhì)量，并履行嚴(yán)格的現(xiàn)代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)力和安全要求。

工藝咨詢(xún)和開(kāi)發(fā)，產(chǎn)能提升，維護(hù)保養(yǎng)流程和系統(tǒng)及工藝的故障排除，我們客戶(hù)化定制的PICOSUPPORT™綜合解決方案24小時(shí)快速響應(yīng)，隨時(shí)待命。在購(gòu)買(mǎi)之前，我們的演示服務(wù)保證了設(shè)備可以100%滿(mǎn)足客戶(hù)苛刻的產(chǎn)線需求。

技術(shù)指標(biāo)

襯底尺寸和類(lèi)型	156 mm x 156 mm硅片50～100片/批次（雙面/背對(duì)背）
	高達(dá)300 mm x 300 mm玻璃基板10～20片/批次（雙面/背對(duì)背）
	大批量的3D產(chǎn)品（例如：鐘表部件，珠寶，硬幣，醫(yī)療植入部件，機(jī)械部件等）
	粉末與顆粒
	Roll-to-roll, 襯底大寬 300 mm
	多孔，通孔，與高深寬比（HAR）樣品
工藝溫度	50-500℃
基片傳送選件	氣動(dòng)升降（手動(dòng)裝載）
	半自動(dòng)裝載，用線性裝載器實(shí)現(xiàn)
	全自動(dòng)轉(zhuǎn)載，用工業(yè)機(jī)器人實(shí)現(xiàn)
前驅(qū)體	液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源
	前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
	4根獨(dú)立源管線，多加載6個(gè)前驅(qū)體源
重量	400 + 300 kg
尺寸 (W x H x D)	149 cm x 191 cm x 111 cm
選件	PICOFLOW™ 擴(kuò)散增強(qiáng)器，N2發(fā)生器，尾氣處理器，定制設(shè)計(jì)，與工廠軟件連接服務(wù)。
驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)	標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)為 Al₂O₃ 工藝