2、熱式質(zhì)量流量計：質(zhì)量流量計(FFM)／質(zhì)量流量控制器(FFC)用于精密地測量或控制氣體的質(zhì)量流量，熱式氣體質(zhì)量流量計的流量傳感器管道式熱式質(zhì)量流量計是熱式質(zhì)量流量傳感器。熱式氣體質(zhì)量流量計由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成，用于測量流量；MFC除了具有與MFM類似的各部件之外，還有一個控制閥門及PID控制電路，它不但能測量流量，還能控制流量。

　　3、熱式氣體流量計：采用熱擴散原理，熱擴散技術(shù)是一種在苛刻條件下性能優(yōu)良、可靠性高的技術(shù)。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個RTD被置于介質(zhì)中時，其中速度傳感器被加熱到環(huán)境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應(yīng)介質(zhì)溫度。流經(jīng)速度傳感器的氣體質(zhì)量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質(zhì)帶走的熱量增多。使傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質(zhì)的流速成正比。

　　4、氣體渦街流量計：主要用于工業(yè)管道中氣體或蒸汽介質(zhì)流體的流量測量。氣體渦街流量計特點是壓力損失小,量程范圍大,精度高,在測量工況體積流量時幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數(shù)的影響。無可動機械零件，因此可靠性高,維護量小。儀表參數(shù)能長期穩(wěn)定。氣體渦街流量計采用壓電應(yīng)力式傳感器,可靠性高,可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內(nèi)工作。有模擬標(biāo)準(zhǔn)信號,也有數(shù)字脈沖信號輸出,容易與計算機等數(shù)字系統(tǒng)配套使用,是一種比較先進(jìn)、理想的流量儀表。

　　5、氣體質(zhì)量流量計：熱式氣體質(zhì)量流量計既可進(jìn)行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領(lǐng)域。不需要溫壓補償，可直接測出流體的質(zhì)量流量。它的突出特點是：沒有可動部件；壓力損失?。涣砍瘫葘?；精度高；可靠性高；安裝簡單，操作方便。