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雙電測四探針測試儀/四探針檢測儀/四探針電阻率測試儀/四探針電阻率檢測儀/四探針方塊電阻儀型號：GSZ-RTS-5

GSZ-RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新,將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進行兩次電測量，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量結(jié)果的準確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實現(xiàn)的。

GSZ-RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

參數(shù)：

測量范圍	電阻率：0.001～200Ω.cm(可擴展)；方塊電阻：0.01～2000Ω/□(可擴展)；電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm；電阻：0.001～200Ω.cm；
可測晶片厚度	≤3mm
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；
恒流源	電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；
四探針探頭基本指標	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87進行)	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差	(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標準不確定度	≤4%
計算機通訊接口	并口
標準使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射；

北京恒奧德科技有限公司

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