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GEN20 分子束外延MBE

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

分子束外延MBE薄膜沉積

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述:

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具,其設(shè)計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù),允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng),以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。 

材料研究和預(yù)生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇

垂直源到基板方向,具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項

手動或自動晶圓轉(zhuǎn)移選項可配置的低溫板、機械手、百葉窗和原位監(jiān)測設(shè)備

模塊化設(shè)計允許多兩個增長模塊

Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具,其設(shè)計可針對 III-V 族和新興材料進行配置,包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù),允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng),以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。



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