化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設(shè)備>晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備>AWL系列 半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)
AWL系列 半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 寧波舜宇儀器有限公司
- 品牌 SOPTOP/舜宇
- 型號 AWL系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/4/29 7:49:00
- 訪問次數(shù) 8511
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AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查
一個晶圓在經(jīng)過一系列復(fù)雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。
SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型，多類配置，分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。
AWL系列半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運(yùn)機(jī)可自由設(shè)置的檢查模式，充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作舒適、簡便。
1.360°宏觀檢查：
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。
2.人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)：
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺體驗(yàn)，可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率。
3.精密微觀檢查：
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場、暗場、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。
4.AWL 應(yīng)用領(lǐng)域：
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