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日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
OPTM series 嵌入型
產(chǎn)品信息
特 點(diǎn)
● 膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
● 膜厚值高重復(fù)精度
● 1點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量
● 最小小點(diǎn)Φ3μm）中瞄準(zhǔn)模式
● 適合圖案晶片的膜厚映射
● 能夠取得圖案對準(zhǔn)用圖像
裝置組裝示意圖
測量數(shù)據(jù)示意圖
測量光點(diǎn)周邊圖像
適應(yīng)過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝等
產(chǎn)品規(guī)格
核心對比與OPTM優(yōu)勢：
技術(shù)差異化：
OPTM系列：基于分光干涉法，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)，技術(shù)解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測量，但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列。
應(yīng)用場景：
OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。
性價(jià)比優(yōu)勢：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門檻更低，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性。
微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實(shí)現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等
微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。
跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計(jì)，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。
安全與擴(kuò)展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制，獨(dú)立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實(shí)驗(yàn)室研發(fā)需求。
日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供
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