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日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

2025-02-21

產(chǎn)      地:
日本
所在地區(qū):
四川成都市
有效期還剩 314舉報(bào)該信息

產(chǎn)品信息

特點(diǎn)

● 可攜帶至現(xiàn)場(chǎng)的手持式

● 可測(cè)量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測(cè)量

● 不論基材材質(zhì)、可測(cè)量其鍍膜


測(cè)量項(xiàng)目

膜厚測(cè)量范圍

1μm~50μm

測(cè)量重復(fù)性

0.01μm

測(cè)量時(shí)間

1秒以下


Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較

與桌上型光學(xué)膜厚儀相比,Smart膜厚儀在“現(xiàn)場(chǎng)”以非破壞式直接量測(cè)樣品,且可以量測(cè)特殊形狀樣品。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


與接觸式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不僅不會(huì)破壞您的樣品,也不會(huì)因?yàn)橛脩舨煌a(chǎn)生誤差且遠(yuǎn)高于接觸式膜厚計(jì)的量測(cè)精度。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

與渦電流/電磁式膜厚儀相比,Smart膜厚儀不需要制作檢量線,且可以量測(cè)非金屬基材并且得到值!

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


不需要量測(cè)經(jīng)驗(yàn),可快速得到精準(zhǔn)的膜厚結(jié)果

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

規(guī)格樣式

量測(cè)原理

反射分光法(光干涉法)、非破壞性量測(cè)

膜厚量測(cè)范圍

1~50μm(顯示上限60μm)

重復(fù)精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量測(cè)時(shí)間

1秒內(nèi)

量測(cè)層數(shù)

1層

數(shù)據(jù)輸出

附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案

量測(cè)Spot

Φ1mm以下

重量


約1.1kg



選配

筆型探頭

能夠測(cè)量狹窄區(qū)域或形狀的樣品。 探頭端Φ6mm。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


非接觸式載臺(tái)

對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品,可以通過(guò)自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測(cè)量。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀

使用場(chǎng)景

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)-量測(cè)試作品

1.攜帶到合作廠商等,直接在現(xiàn)場(chǎng)量測(cè)效率Up

2.試作階段的檢查方法商定效率Up

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


產(chǎn)線-設(shè)定產(chǎn)線參數(shù)、提高良率

1.現(xiàn)場(chǎng)可直接量測(cè),無(wú)須準(zhǔn)備,量測(cè)時(shí)間短、效率Up

2.產(chǎn)品檢查的早期階段發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,事后的對(duì)策更加靈活

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


質(zhì)量管理-品管效率Up

1.現(xiàn)場(chǎng)可直接量測(cè)高精度量測(cè)成品,盡早發(fā)現(xiàn)不良品異狀

2.事后的對(duì)策可更加靈活

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀


After Service-活用可攜帶的優(yōu)點(diǎn)

在產(chǎn)品出貨后的客戶端也可直接帶去量測(cè)。

現(xiàn)場(chǎng)較難量測(cè)的立體物、無(wú)法切割破壞的樣品(例如:窗戶的Coating等)。

日本otsuka大塚電子Smart膜厚儀



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