能譜掃描電鏡是一種結(jié)合掃描電子顯微鏡與能量散射光譜儀的組合設(shè)備

來源：蘇州浪聲科學(xué)儀器有限公司 2025年07月01日 17:22

　　能譜掃描電鏡是一種結(jié)合了掃描電子顯微鏡和能量散射光譜儀的綜合顯微分析系統(tǒng)‌。它通過電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號，實現(xiàn)樣品的形貌觀察及化學(xué)成分分析‌。

　　設(shè)備組成與工作原理

　　掃描電子顯微鏡(SEM)：組成：包括電子光學(xué)系統(tǒng)、掃描系統(tǒng)、信號收集系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)。

　　工作原理：利用聚焦后的高能電子束掃描樣品表面，通過電子與樣品原子相互作用產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號。這些信號被探測器捕捉并轉(zhuǎn)換成圖像，揭示樣品的表面形貌和結(jié)構(gòu)信息。

　　能譜儀(EDS)：組成：能量分析器、探測器等。

　　工作原理：檢測電子束與樣品互動時產(chǎn)生的特征X射線，根據(jù)能量分布差異區(qū)分元素種類，并計算各元素的相對含量。EDS可在真空室條件下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征X射線，實現(xiàn)樣品表面微區(qū)成分的定性與半定量分析。

　　‌SEM部分‌：利用聚焦的高能電子束掃描樣品表面，通過電子與樣品原子相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等信號，揭示樣品的表面形貌和結(jié)構(gòu)信息‌。

　　‌EDS部分‌：在真空室條件下，電子束轟擊樣品表面，激發(fā)出特征X射線。根據(jù)X射線的能量差異，可以定性和半定量分析樣品表面的元素種類和含量。

　　具體應(yīng)用實例

　　‌微觀形貌觀察及尺寸測量‌：如斷口顯微形貌觀察、電子產(chǎn)品內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察、表面形貌觀察、鍍層厚度測量、錫須長度測量等‌。

　　‌材料微觀結(jié)構(gòu)觀察‌：用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)和成分分布‌。

　　樣品要求：

　　樣品需為固態(tài)，表面導(dǎo)電性良好，無磁性或弱磁性，不易潮解且無揮發(fā)性。樣品尺寸需適中，過大時需切割取樣；表面需平整，以滿足定量分析的要求。非導(dǎo)體樣品表面需鍍金或鍍碳處理，以提高導(dǎo)電性。

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