Sunlonge半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)燈SL8500主要用于人工檢測(cè)掩膜板、襯底、外延片表面缺陷瑕疵，檢測(cè)步驟如下，更多關(guān)于半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)請(qǐng)咨詢深圳熒鴻。

襯底缺陷檢測(cè)檢測(cè)步驟

檢測(cè)半導(dǎo)體襯底表面瑕疵前先對(duì)表面瑕疵檢測(cè)燈進(jìn)行設(shè)置，瑕疵檢測(cè)燈燈頭高度與檢測(cè)臺(tái)之間距離為30-40cm，角度為垂直90度，放置黑色背景板于檢測(cè)臺(tái)上，打開瑕疵檢測(cè)燈并將亮度調(diào)到頂。采用懸空測(cè)試法，手拿半導(dǎo)體襯底放置于檢測(cè)燈與黑色背景板之間，半導(dǎo)體襯底與背景板之間的距離為15-20cm之間，半導(dǎo)體襯底與水平方向保持30-60度夾角（不同燈不一樣）。檢測(cè)瑕疵時(shí)，檢測(cè)員需要慢慢調(diào)整襯底與水平角度以尋找適合的瑕疵點(diǎn)。

外延片表面缺陷檢測(cè)步驟：

1-在檢測(cè)臺(tái)放置黑色背景板

2-將SL8500檢測(cè)燈燈頭調(diào)整距離檢測(cè)臺(tái)40cm，燈頭與檢測(cè)臺(tái)角度為垂直90度（不同的燈不一樣）

3-接通電源，打開SL8500檢測(cè)燈并將亮度調(diào)到頂

4-將外延片置于檢測(cè)臺(tái)上并與水平角度保持一定角度（角度可見使用說明）

5-檢測(cè)員不斷調(diào)整外延片與水平的角度直到找到適合的檢測(cè)視角

掩膜版表面瑕疵檢測(cè)步驟：

在檢測(cè)臺(tái)放置黑色背景板

打開SL8500檢測(cè)燈并將檢測(cè)燈亮度調(diào)到頂

將掩膜版懸空放置于SL8500瑕疵檢測(cè)燈與檢測(cè)臺(tái)之間，保持與檢測(cè)臺(tái)15cm距離，與水平保持30-60°的角度（不同檢測(cè)燈不一樣）

檢測(cè)員不斷調(diào)整掩膜版直到找到最合適的檢測(cè)效果角度