半導(dǎo)體材料(硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率的測(cè)量
方塊電阻測(cè)定儀用于測(cè)量半導(dǎo)體材料(硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測(cè)量?jī)x器。它主要由電氣測(cè)量部份(簡(jiǎn)稱:主機(jī))、測(cè)試架及四探針頭組成。
儀器是配精度為0.05%的恒流源、恒流源開關(guān)以及雙數(shù)字表,在測(cè)量電阻率的同時(shí),數(shù)字表監(jiān)測(cè)電流變化,儀器可選配測(cè)量軟件用于測(cè)量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的MAX百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度。
規(guī)格參數(shù)
測(cè)量范圍:
測(cè)電阻率:0.00001~199000Ω·cm
測(cè)方塊電阻:0.001~1000000Ω/□
恒流源:
直流輸出電流:0.001~100mA五檔可調(diào)
量程范圍:0.001~0.01mA、0.01~0.10mA、0.10~1.0mA、1.0~10mA、10~100mA
恒流精度:±0.05%
直流數(shù)字電壓表:
測(cè)量范圍:0~199.99mV
靈敏度:1μV
基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%)
輸入阻抗:≥1000MΩ
測(cè)量精度:1~1000Ω·cm≤3%
供電電源:AC 220V±10%,50z/60Hz
功率范圍:12W
環(huán)境溫度:23±2℃
相對(duì)濕度:≤65%
型號(hào):GDSKDY-1H
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