測氟難？TRACER 5G手持XRF破局！

突破輕元素檢測極限

      氟（F）——現(xiàn)代工業(yè)的“關(guān)鍵先生”，也是潛伏的“麻煩制造者”！

      在精密半導體制造中，氟基氣體（如CF4, NF3）是蝕刻、沉積、清洗工藝的“利器”，其精準控制直接關(guān)乎芯片性能和良率。然而，氟的“調(diào)皮”屬性也帶來挑戰(zhàn)：殘留的氟化合物可能腐蝕精密部件，污染制程，甚至導致昂貴的設(shè)備宕機！

      在環(huán)境保護領(lǐng)域，含氟的持久性有機污染物（PFAS），如全氟烷基磺酸鹽（PFASs）和聚四氟乙烯（PTFE）相關(guān)物質(zhì)，因其在環(huán)境（土壤、水體）和人體中極難降解（被稱為“頑固化學品”）并具有潛在健康風險，已成為全球監(jiān)管和治理的焦點。消防泡沫、防護涂層、不粘炊具、潤滑劑（如自行車鏈蠟、滑雪蠟）都可能成為PFAS的來源。

行業(yè)痛點與挑戰(zhàn)

      無論是確保萬億級芯片產(chǎn)線的純凈，還是鎖定無處不在的“頑固化學品”，快速、精準地檢測氟元素，都是破局的關(guān)鍵！傳統(tǒng)方法？力不從心！

      實驗室送檢：周期長（耽誤生產(chǎn)排期/污染擴散）、成本高（大規(guī)模篩查難以承受）、樣品破壞性（珍貴晶圓/復雜基體）。

      常規(guī)手持XRF： 對氟(F)等超輕元素束手無策，無法現(xiàn)場給出答案！

      檢測難題亟待破解：如何做到 輕、快、準？

TRACER 5G

      布魯克(Bruker)推出的科研級手持式XRF分析儀——TRACER 5G，正是為解決此類嚴苛挑戰(zhàn)而生。它不僅僅是一款手持設(shè)備，更代表了輕元素檢測領(lǐng)域的一項重大突破。

核心技術(shù)：

TRACER 5G的核心革新在于其革命性的探測器窗口：它采用了1μm厚度的石墨烯窗口，取代了傳統(tǒng)的8μm鈹窗。

Q:為何是石墨烯？

A:這種由單層碳原子構(gòu)成的二維材料，結(jié)構(gòu)異常堅固，卻具有超薄的特性。

Q:帶來了什么改變？

A: 石墨烯窗口實現(xiàn)了更高的X射線透射率，顯著提升了對輕元素尤其是氟(F)的檢測靈敏度！

此外，

鈉 (Na)1 靈敏度提升 3倍

鎂 (Mg)1 靈敏度提升 2倍

氦氣環(huán)境 (He2) 下，Na檢測限可達 300 ppm

氦氣環(huán)境 (He2) 下，Mg檢測限可達 100 ppm

氟 (F) 檢測能力獲得質(zhì)的飛躍

關(guān)鍵突破： 實現(xiàn)現(xiàn)場、快速、無損檢測氟(F)元素！

解決氟檢測痛點

TRACER 5G如何化身“氟”務(wù)專家？看兩大硬核應用場景：

·   案例1：半導體制造過程中的氟檢測——氟殘留與材料鑒別

痛點：

工藝腔室、晶圓載具、管道內(nèi)壁殘留的氟化物（如蝕刻副產(chǎn)物）是隱形殺手；新型耐等離子體材料氧氟化釔 (YOF) 正逐步取代氧化釔 (Y?O?)，但如何快速確認使用的是YOF（含氟）還是Y?O?（不含氟）？

TRACER 5G 解決方案：

快速篩查殘留： 無需拆卸，直接在設(shè)備部件、腔體表面或晶圓（非功能區(qū)）進行無損測量，數(shù)秒內(nèi)定位氟污染熱點，預警潛在風險，保障制程純凈度和設(shè)備壽命。

精準材料鑒別： 通過檢測氟元素的存在與否，快速、明確區(qū)分YOF涂層與Y?O?涂層，確保關(guān)鍵防護部件使用了正確的先進材料。告別依賴復雜實驗室分析或模糊的物理觀察！

·   案例2：含氟的持久性有機污染物的檢測

痛點：

PFAS分布廣泛（消防訓練場、工業(yè)區(qū)、受污染水體周邊、廢棄物處理點），傳統(tǒng)檢測流程繁瑣、昂貴且滯后，難以滿足快速響應和初步篩查需求。PTFE制品在使用磨損后也可能釋放相關(guān)含氟物質(zhì)。

TRACER 5G 解決方案：

現(xiàn)場初篩利器：快速掃描土壤、灰塵、沉積物、甚至某些固體廢棄物表面，指示可能存在PFAS污染的熱點區(qū)域（氟作為PFAS的特征元素是其重要指示器）。雖然不能直接鑒定具體PFAS種類，但能大幅縮小需要送實驗室精確定量分析的范圍，節(jié)省大量時間和成本。

污染源追蹤： 輔助判斷可能的污染源（如泄漏點、歷史使用區(qū)域）。

含氟材料識別： 快速識別場地中是否含有高濃度的含氟材料（如PTFE制品碎片、特定消防泡沫殘留物）。

產(chǎn)品價值 - TRACER 5G不僅僅是一臺“手持設(shè)備”

科研級的檢測能力： 它代表著當前手持式XRF分析儀技術(shù)的前沿水平，性能直逼實驗室精密儀器。

寬泛的元素覆蓋： 從超輕的鈉(Na)到重元素的鈾(U)，一機覆蓋元素周期表兩端，滿足科學家和工程師的多元化研究分析需求。

靈活性： 手持便攜設(shè)計，讓實驗室級的精準分析隨時隨地發(fā)生在產(chǎn)線旁、設(shè)備旁、研發(fā)現(xiàn)場。

無損檢測： 無需破壞樣品！ 珍貴晶圓、設(shè)備部件、現(xiàn)場樣本完好無損。

操作簡單： 非專家經(jīng)簡單培訓即可上手，降低使用門檻。

成本效益： 大幅降低良率損失風險、設(shè)備維護成本、實驗室送檢開銷及大規(guī)模環(huán)境篩查費用。

強大耐用： 專為工業(yè)現(xiàn)場和環(huán)境勘察設(shè)計。

無論您是：

追求良率與制程控制的半導體大廠，

負責環(huán)境監(jiān)測與修復的政府機構(gòu)/環(huán)保公司，

還是需要管控供應鏈風險的材料/零部件供應商，

揭秘歷史真相的藝術(shù)品與考古機構(gòu)（顏料成分無損鑒定、文物材質(zhì)分析），

保障舌尖安全的食品/農(nóng)業(yè)監(jiān)管者與生產(chǎn)者（土壤養(yǎng)分/污染元素篩查、食品接觸材料有害重金屬遷移檢測、肥料成分驗證），

勘探地球?qū)毑氐牡刭|(zhì)礦業(yè)團隊（礦樣現(xiàn)場快速品位評估、礦脈追蹤、環(huán)境本底調(diào)查）

布魯克TRACER 5G手持式XRF分析儀，憑借革命性的石墨烯窗口技術(shù)，為您提供現(xiàn)場、快速、無損、精準的氟元素檢測方案，助您牢牢掌控氟這把“雙面刃”！

即刻解鎖科研級手持分析新境界！