ULVAC愛發(fā)科 羅茨真空泵（機械增壓泵）應用

什么是機械增壓泵？

　機械增壓泵是一種可以大幅提高泵送速度的泵。

機械增壓泵的特點

　通過與油旋片真空泵或干式泵等粗抽泵組合，在粗抽泵排氣速度下降的壓力范圍內(nèi)，可以大幅提高排氣速度。

【優(yōu)點】在10KPa~0.1Pa的壓力范圍內(nèi)，可大幅提高抽速。

【缺點】無法依靠大氣壓自行運轉(zhuǎn)。

機械增壓泵的工作原理

　機殼內(nèi)的兩個繭形轉(zhuǎn)子通過軸端的驅(qū)動齒輪同步反向旋轉(zhuǎn)。從進氣口進入的氣體被困在機殼與轉(zhuǎn)子之間的空間內(nèi)，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而從排氣口排出，再由下游級的輔助泵排入大氣。

（羅茨真空泵作為一種高效的真空設備，其工作原理依賴于轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)的高速旋轉(zhuǎn)，通過吸氣、壓縮和排氣的過程實現(xiàn)抽真空?。）

機械增壓泵的主要用途

　半導體制程、真空蒸餾、真空封裝、脫氣、薄膜、真空冶金、低密度風洞實驗、太空開發(fā)、真空浸漬、真空干燥等。

應用行業(yè)

化工、醫(yī)藥、食品、電子、環(huán)保領(lǐng)域、冶金行業(yè)、半導體制造行業(yè)?

化工行業(yè)

在化工生產(chǎn)中，羅茨真空泵廣泛應用于真空蒸餾、真空干燥和真空濃縮等工藝過程中。通過抽真空降低系統(tǒng)壓力，有助于降低物料的沸點，提高反應速率和產(chǎn)品質(zhì)量?。

醫(yī)藥行業(yè)

在醫(yī)藥制造過程中，羅茨真空泵常用于真空干燥、真空混合等工序。這些工序?qū)τ谒幤返募兌群唾|(zhì)量至關(guān)重要，因此羅茨真空泵在醫(yī)藥行業(yè)具有廣泛的應用前景?。

食品行業(yè)

在食品加工中，羅茨真空泵可用于真空包裝、真空脫氣等環(huán)節(jié)。通過抽真空可以延長食品的保質(zhì)期，提高產(chǎn)品的口感和品質(zhì)?。

電子行業(yè)

羅茨真空泵在電子行業(yè)中主要用于半導體制造工藝。由于半導體制造對真空系統(tǒng)的性能要求高，尤其是需要有效清除腐蝕性氣體、微細粉塵及有害氣體等雜質(zhì)，羅茨真空泵在這些領(lǐng)域中發(fā)揮著重要作用?。

環(huán)保行業(yè)

羅茨真空泵在環(huán)保領(lǐng)域也有應用，例如在處理工業(yè)廢氣時，通過抽真空可以有效去除有害氣體，保護環(huán)境。?

冶金行業(yè)中，羅茨真空泵被用來抽取爐內(nèi)的空氣，以創(chuàng)造一個無氧環(huán)境，從而提高冶煉的質(zhì)量和效率?。

半導體制造中的應用包括：

?薄膜沉積?：在沉積薄膜的過程中，羅茨真空泵能夠去除反應室中的氣體雜質(zhì)，確保薄膜的質(zhì)量和均勻性?。

?光刻?：在光刻過程中，羅茨真空泵確保反應室的真空度，保證光刻膠的均勻涂布和曝光效果?。

?蝕刻?：在蝕刻過程中，羅茨真空泵維持所需的真空度，確保蝕刻過程的精確控制?。