OKANO（岡野）真空計

OKANO（日本岡野株式會社）是專業(yè)真空測量設(shè)備制造商，其真空計以高精度、寬量程、強(qiáng)抗污染能力著稱，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研實驗等領(lǐng)域。

1. 核心技術(shù)優(yōu)勢

• 抗污染設(shè)計：

• 電離規(guī)采用抗氧化陰極（IG-500A），壽命延長3倍。

• 電容規(guī)（CG系列）全金屬密封，耐酸堿腐蝕。

• 智能校準(zhǔn)：

• 自動零點校正（GP系列），減少溫度漂移影響。

• 數(shù)字補(bǔ)償算法（復(fù)合真空計），提升交叉量程精度。

• 快速響應(yīng)：

• 熱規(guī)（GP系列）響應(yīng)時間＜0.5秒，適用于動態(tài)真空控制。

2. 行業(yè)解決方案

• 半導(dǎo)體制造：

• 刻蝕設(shè)備真空度實時監(jiān)測（IG-300A，防等離子干擾）。

• 光學(xué)鍍膜：

• 電子槍蒸發(fā)源壓力控制（復(fù)合真空計，量程無縫切換）。

• 科研實驗：

• 同步輻射裝置超高真空（10?? Pa ，配分子泵組）。

3. 使用與維護(hù)要點

• 安裝位置：

• 避免直接對準(zhǔn)泵口或氣流沖擊位置（防止顆粒污染傳感器）。

• 校準(zhǔn)周期：

• 皮拉尼規(guī)每12個月校準(zhǔn)，電離規(guī)每6個月（高精度應(yīng)用需更頻）。

• 故障排查：

• 讀數(shù)異常時先檢查電纜連接（電離規(guī)需預(yù)熱10分鐘）。