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半導(dǎo)體行業(yè)的溫度控制解決方案 (二): 用于旋轉(zhuǎn)涂膠和光刻系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控

來(lái)源:德祥科技有限公司   2025年04月28日 13:21  


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半導(dǎo)體工業(yè)的溫度控制解決方案 

系列二:旋轉(zhuǎn)涂膠和光刻系統(tǒng)的精準(zhǔn)溫控


光刻:批量生產(chǎn)微型芯片的關(guān)鍵步驟


光刻技術(shù):在晶圓上涂覆光刻膠后,使用紫外光照射掩模并進(jìn)行曝光顯影,就可以利用光刻膠的特性,在晶圓上形成所需的微觀圖形。


但是,材料都具有熱脹冷縮的特性,在光刻過(guò)程中使用到的光刻掩模版、透鏡和晶圓同樣如此。


例如,即使是輕微的溫度變化,也會(huì)引起晶圓結(jié)構(gòu)的改變,從而導(dǎo)致尺寸變化,影響顯影圖形的精度和可重復(fù)性。


旋轉(zhuǎn)涂膠的溫度控制



光刻技術(shù)使用的光敏性光刻膠,其特性與溫度有關(guān)。精確的溫度控制可以使光刻膠的溫度更加均勻,能最大限度地減少涂膠過(guò)程中產(chǎn)生的表面缺陷,在光刻技術(shù)中至關(guān)重要。


LAUDA Microcool 和 Variocool 設(shè)備可提供涂膠過(guò)程所需的穩(wěn)定溫度,并且均配置了低振動(dòng)壓縮機(jī),即使被放置在靠近工藝流程的地方,也不會(huì)產(chǎn)生任何負(fù)面影響。


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Lauda 應(yīng)用

液體光刻膠的溫度控制


Lauda 產(chǎn)品

Microcool 循環(huán)冷水機(jī)

Variocool 過(guò)程恒溫器


2

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典型產(chǎn)品特征

•     高的溫度穩(wěn)定性

•     內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于維修

•     低振動(dòng)壓縮機(jī)

•     結(jié)構(gòu)緊湊



工藝氣體/真空的溫度控制



大多數(shù)工藝是在真空環(huán)境或氣體環(huán)境中進(jìn)行,需要對(duì)這些區(qū)域的溫度進(jìn)行適當(dāng)控制。例如,通過(guò)在不銹鋼管道或外殼上加裝水冷夾套,對(duì)其中的氣體進(jìn)行溫度控制。


1

Lauda 應(yīng)用

工藝氣體和腔室的溫度控制


Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

Variocool 過(guò)程恒溫器


2

3

典型產(chǎn)品特征

•     高的溫度穩(wěn)定性

•     內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于維修

•     低振動(dòng)壓縮機(jī)

•     結(jié)構(gòu)緊湊。


光刻系統(tǒng)的溫度控制



? 紫外光源的溫度控制


激光束的生成需要大量的能量,同時(shí)會(huì)生成廢熱,需要進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)??煽康难h(huán)冷水機(jī),如 LAUDA Ultracool 設(shè)備,可以有效防止激光模塊過(guò)熱。

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Lauda 應(yīng)用

激光發(fā)生器的冷卻


Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

Variocool 過(guò)程恒溫器

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? 聚光透鏡和光掩模的溫度控制


透鏡會(huì)吸收高功率的激光輻照,導(dǎo)致溫度升高,而光學(xué)元件和反射鏡會(huì)在高溫下產(chǎn)生變形,所以必須對(duì)其進(jìn)行大幅冷卻以保持恒溫。緊湊型的LAUDA 恒溫設(shè)備可對(duì)透鏡的溫度進(jìn)行控制,對(duì)精確曝光至關(guān)重要。

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Lauda 應(yīng)用

透鏡 / 反射鏡的冷卻


Lauda 產(chǎn)品

Variocool 過(guò)程恒溫器

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? 晶圓工件臺(tái)和測(cè)量系統(tǒng)的溫度控制


設(shè)備操作和后續(xù)發(fā)熱會(huì)影響晶圓工件臺(tái)和測(cè)量系統(tǒng)的精度,對(duì)其進(jìn)行精確的溫度控制,可以避免產(chǎn)生熱膨脹,確保光刻的定位精度始終保持在納米級(jí)別。

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Lauda 應(yīng)用

晶圓工件臺(tái)的冷卻


Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

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? 真空泵的溫度控制


渦輪分子泵被廣泛用于半導(dǎo)體工藝的很多應(yīng)用中,由旋轉(zhuǎn)葉片組成,這些葉片以高的速度運(yùn)轉(zhuǎn),以產(chǎn)生高真空。高速運(yùn)轉(zhuǎn)造成的摩擦?xí)a(chǎn)生熱量,如果沒(méi)有適當(dāng)?shù)睦鋮s,可能會(huì)導(dǎo)致其損壞或性能下降。對(duì)真空泵進(jìn)行冷卻有助于將工作溫度保持在規(guī)定的范圍內(nèi),維持所需的真空度,保證真空泵的工作效率和可靠性。


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Lauda 應(yīng)用

真空泵的冷卻


Lauda 產(chǎn)品

Ultracool 循環(huán)冷水機(jī)

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關(guān)注我們!

了解更多半導(dǎo)體工藝的溫度控制


半導(dǎo)體制造是人類工業(yè)文明中精密程度最高的系統(tǒng)性工程之一,其工藝流程涉及數(shù)百道復(fù)雜工序。從硅晶圓制備、光刻顯影到薄膜沉積、離子注入,從前道工藝到后道工藝,關(guān)注 LAUDA !和我們一起逐層揭開(kāi)半導(dǎo)體制造的溫度密碼,解析精準(zhǔn)溫控背后的工程智慧!


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德祥科技

德祥科技有限公司成立于1992年,總部位于中國(guó)香港特別行政區(qū),分別在越南、廣州、上海、北京設(shè)立分公司。主要服務(wù)于大中華區(qū)和亞太地區(qū)——在亞太地區(qū)有27個(gè)辦事處和銷售網(wǎng)點(diǎn),5個(gè)維修中心和2個(gè)樣機(jī)實(shí)驗(yàn)室。


30多年來(lái),德祥一直深耕于科學(xué)儀器行業(yè),主營(yíng)產(chǎn)品有實(shí)驗(yàn)室分析儀器、工業(yè)檢測(cè)儀器及過(guò)程控制設(shè)備,致力于為新老客戶提供更完善的解決方案。公司業(yè)務(wù)包含儀器代理,維修售后,實(shí)驗(yàn)室咨詢與規(guī)劃,CRO凍干工藝開(kāi)發(fā)服務(wù)以及自主產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后。與高校、科研院所、政府機(jī)構(gòu)、檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)及企業(yè)保持密切合作,服務(wù)客戶覆蓋制藥、醫(yī)療、商業(yè)實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)、環(huán)保、石化、食品飲料和電子等各個(gè)行業(yè)及領(lǐng)域。


2009至2021年間,德祥先后榮獲了“影響力經(jīng)銷商”、“年度最佳代理商“、”年度最高銷售獎(jiǎng)“等殊榮。我們始終秉承誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)的理念,致力于成為優(yōu)秀的科學(xué)儀器供應(yīng)商,為此我們從未停止前進(jìn)的腳步。


我們始終相信,每一天都在使這個(gè)世界變得更美好!


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