液體質(zhì)量流量控制器的原理

液體質(zhì)量流量控制器是氣體質(zhì)量流量的自動控制裝置，液體質(zhì)量流量計是測量液體質(zhì)量流量的裝置。

質(zhì)量流量控制器的流量控制原理是利用熱容的質(zhì)量流量測量原理和流量控制閥的PID控制，通過調(diào)節(jié)開度來自動控制質(zhì)量流量。

液體質(zhì)量流量控制器特點(diǎn)[LINTEC]

LINTEC的液體MFC/MFM（質(zhì)量流量控制器）對應(yīng)半導(dǎo)體行業(yè)對TEOS等液體汽化供應(yīng)技術(shù)的需求，提供于世界的液體質(zhì)量流量控制技術(shù)。

液體質(zhì)量流量控制

液體流量測量對象包括體積流量和流速，從精度と穩(wěn)定性的角度來看，微小流量的液體質(zhì)量流量控制已成為半導(dǎo)體成膜工藝中的技術(shù)。

高精度

在半導(dǎo)體制造過程中，薄膜是通過蒸發(fā)TEOS（原硅酸四乙酯）等液體源來形成的，它比氣體更便宜且更易操控。在制造過程中，供應(yīng)量較大，最新原材料往往采用低蒸氣壓材料。 在傳統(tǒng)的氣體MFC烘烤法烘焙法中，供給量和耐熱溫度成為瓶頸，因此誕生了溫度限制少且供給量大的直接氣化法。然而，在直接汽化法中，由于反應(yīng)氣體的流量是在液相中控制的，因此即使很小的誤差也會嚴(yán)重影響反應(yīng)。

以H2O為例，如果1ml液相在0℃理想條件下汽化，則會膨脹至1,244ml。由此可見，對微小流量進(jìn)行高精度的流量控制、汽化并使其反應(yīng)，已成為半導(dǎo)體制造設(shè)備中的技術(shù)。

穩(wěn)定性

液體流量計使用范例

1ml/min以下的流量控制裝置中包括計量泵，計量泵由于連續(xù)的機(jī)械切換操作而產(chǎn)生脈動。 沒有機(jī)械切換的注射泵不會產(chǎn)生脈動，但泵的容積有限，不適合連續(xù)供給。

另外，當(dāng)通過控制流量將液體引入真空裝置時，由于計量泵存在壓差，無法得到穩(wěn)定的流量。

液體MFC的流量控制是將氣體等加壓至恒壓的液體引入液體質(zhì)量流量控制器，用內(nèi)部流量傳感器檢測瞬時流量，不斷控制閥門開度，即使二次壓力減壓或在大氣壓下也可實(shí)現(xiàn)恒定流量控制。

液體MFC/MFM相關(guān)產(chǎn)品

液體MFM（質(zhì)量流量計）

高性能液體MFM（質(zhì)量流量計）

LM-3000L

特點(diǎn)：微流量液體測量，PID控制信號（帶汽化器和CV設(shè)定），金屬密封件，無塵

選配規(guī)格：高溫兼容

液體MFC（質(zhì)量流量控制器）

高性能液體MFC（質(zhì)量流量控制器）

LC-3000L

特點(diǎn)：微流量液體控制，金屬密封件，無塵

科里奧利液體MFC（質(zhì)量流量控制器）

LC-4000

特點(diǎn)：無需CF、大流量液體控制、無塵

應(yīng)用質(zhì)量流量控制器技術(shù)的其他產(chǎn)品

液體控制閥【CV-1000】

CV-1000

特點(diǎn)：比例電磁閥，金屬密封件，無塵

搭載微小流量液體傳感器并內(nèi)置PID控制器的高性能數(shù)字通訊液體質(zhì)流控制器。

LM-3000L系列搭載高性能液體流量傳感器，可對C2H5OH換算滿量程0.1g/min～20g/min實(shí)現(xiàn)高度精確的流量測量。

由于它具有內(nèi)置PID控制器，因此可以通過與LINTEC的閥門搭載產(chǎn)品（汽化器，控制閥）結(jié)合使用來控制液體的流量。

LM-3000L

特點(diǎn)

• 微小流量的液體測量

• 液體氣化的流量控制

• 精度范圍±1%F.S.

• 金屬密封件

• 無塵生產(chǎn)（粒子標(biāo)準(zhǔn)監(jiān)控）

• RS-485數(shù)字通訊接口

選配規(guī)格

• 耐高溫

• 無菌蒸汽（SPI）處理

使用范例

液體汽化流量控制

通過將液體質(zhì)量流量計（LM-3000L）與LINTEC內(nèi)置控制閥的汽化器（VU）相結(jié)合，可以控制在汽化室之前引入汽化器的流量。因此，實(shí)現(xiàn)了應(yīng)答速度快的汽化流量控制，且不受汽化器熱量的影響。

液體流量控制

通過將LINTEC的控制閥（CV-1000）與帶有內(nèi)置PID控制器的液體質(zhì)量流量計（LM-3000L）相結(jié)合，可以用作液體質(zhì)量流量控制器。

規(guī)格表

※此表僅表示一般規(guī)格的液體用MFM。　根據(jù)選配規(guī)格變化。
※F.S.根據(jù)液體種類不同而變化。詳細(xì)請咨詢LINTEC。