手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)的特點和應(yīng)用場景
雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)利用高能激光在非線性光學(xué)晶體中產(chǎn)生的雙光子吸收效應(yīng)，通過激光與材料相互作用引發(fā)局部光化學(xué)反應(yīng)，直接實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)的加工。無需傳統(tǒng)掩膜版，極大簡化了工藝流。
1、核心優(yōu)勢：
超高精度：分辨率達(dá)100nm，表面粗糙度Ra＜5nm，支持2.5D/3D微納結(jié)構(gòu)加工。
設(shè)計自由度：無需掩膜，通過CAD直接設(shè)計結(jié)構(gòu)，支持快速迭代與小批量定制化生產(chǎn)。
材料兼容性：適用于金屬、半導(dǎo)體（如InP、SOI）、聚合物（如光敏樹脂）等多種材料。
工業(yè)化潛力：如Nanoscribe的Quantum X系統(tǒng)可實現(xiàn)6英寸晶圓級批量加工，通宵產(chǎn)能達(dá)200個標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)。
2、應(yīng)用場景：
微電子與光子學(xué)：制造微處理器、MEMS傳感器、光子晶體等，提升器件集成度與性能。
生物醫(yī)學(xué)：打印生物芯片、微流控芯片、細(xì)胞支架等，用于疾病診斷、藥物篩選及組織工程。
光學(xué)器件：加工自由曲面透鏡、光纖耦合器等，實現(xiàn)光學(xué)組件的小型化與功能集成。
納米技術(shù)：制備納米傳感器、量子點等，推動納米電子與納米光子學(xué)的研究。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心