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自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀是一種基于橢圓偏振法原理用于測(cè)量薄膜厚度的儀器
自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀(Ellipsometer)是一種用于測(cè)量薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的儀器。它通過利用材料的光學(xué)特性，能夠準(zhǔn)確地測(cè)定這些參數(shù)，且由于測(cè)量過程不需要與樣品直接接觸，不會(huì)對(duì)材料表面造成損壞，也不需要真空環(huán)境，因此具有簡(jiǎn)便、快捷且易于實(shí)現(xiàn)的特點(diǎn)。
當(dāng)一束具有已知偏振狀態(tài)的激光照射到薄膜表面時(shí)，光束在薄膜界面發(fā)生折射和反射等作用，導(dǎo)致出射光的偏振狀態(tài)發(fā)生變化，由線性偏振態(tài)變?yōu)闄E圓偏振態(tài)。由于偏振狀態(tài)的變化與薄膜的厚度、材料折射率等相關(guān)，因此通過測(cè)量出射光偏振態(tài)的變化，可以通過反演計(jì)算獲得薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)。
使用自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀時(shí)，通常需要將儀器安放在穩(wěn)定的工作臺(tái)上，并進(jìn)行光路調(diào)整和儀器校正。然后，將待測(cè)樣品放置在樣品臺(tái)上，調(diào)整樣品的位置和角度以確保反射光能夠準(zhǔn)確地射入探測(cè)器。接下來，啟動(dòng)儀器進(jìn)行測(cè)量，并等待數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)輸出測(cè)量結(jié)果。
技術(shù)特點(diǎn)：
非接觸無損檢測(cè)：儀器通過測(cè)量光在介質(zhì)表面反射前后的偏振態(tài)變化來獲取信息，無需與樣品直接接觸，因此不會(huì)對(duì)樣品造成損傷。
高精度測(cè)量：儀器采用高精度的光學(xué)系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理算法，能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜厚度的準(zhǔn)確測(cè)量。
測(cè)量范圍廣：適用于不同厚度和光學(xué)特性的薄膜材料測(cè)量。
易于操作：儀器具有友好的用戶界面和操作流程，使得用戶能夠輕松地進(jìn)行測(cè)量和分析。
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