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ICPOES與ICPMS射頻發(fā)生器原理、構(gòu)造與維護(hù)

閱讀:2639      發(fā)布時(shí)間:2018-08-27
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 什么是等離子體?

• 1、高電離的氣體。(電離度大于0.1%)

• 2、電中性(正負(fù)電荷相等)
 


什么是ICP(電感耦合等離子體)?

•何為ICP:

•1、高溫常壓氣體;(穩(wěn)定達(dá)到10000K)

•2、RF發(fā)生器使電感線圈發(fā)生高頻震蕩磁場;

•3、高頻磁場把能量耦合到氬氣中,使Ar電離;

•4、呈電中性,Ar離子與電子數(shù)目相同;

•5、有大量亞穩(wěn)態(tài)Ar原子;

•組成:RF發(fā)生器、匹配系統(tǒng)(如果需要)、工作線圈、矩管

•主要參數(shù):頻率、功率范圍與利用率、功率與頻率穩(wěn)定性。

•RF發(fā)生器類型:自激與它激、水冷與風(fēng)冷、電子管與晶體管。

•RF觀測方式:水平、垂直。


 

提供商

珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司

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