ULVAC日本愛發(fā)科螺桿型干式真空泵MS120A

ULVAC日本愛發(fā)科螺桿型干式真空泵MS120A

日本愛發(fā)科（ULVAC）螺桿型干式真空泵具有多種優(yōu)勢，以下為你詳細介紹：

產品特點高速排氣與低功耗：如 LS 系列通過螺桿形狀和節(jié)電技術的融合，實現了兼顧高速排氣和低功耗的性能，在接近大氣壓時具有高抽速，能大幅縮短抽氣時間，同時采用 ECO - SHOCK 技術，顯著降低了功耗，在極限壓力下功耗可達行業(yè)的 0.6kW 或更低。

耐腐蝕性強：MS 系列等產品對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，標準零部件采用高硬度并經過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，可降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度，能適應多種復雜工藝環(huán)境123。

排粉性能好：采用 ULVAC 設計的轉子軸，實現了高性能的排粉，適用于有粉末產生的工藝，如半導體制造中的蝕刻、灰化等工藝。

運行安靜平穩(wěn)：內置消音器，噪音水平低，如 LS 系列噪音可控制在 61dB（A）或以下，同時運行振動小，可提供安靜的工作環(huán)境。

全壓力范圍運行：從大氣壓到極限壓力，可在全壓力區(qū)域連續(xù)運行，能滿足不同工藝階段對真空度的要求。

產品系列及應用LS 系列：有多種型號，抽速范圍在 120 - 1200m3/h，根據用途分為 C 型（清潔工藝）和 L 型（輕工藝）。C 型適用于涉及空氣、氮氣等清潔氣體的工藝，如濺射、氣相沉積、層壓、負載鎖定室等；L 型適用于涉及蒸汽和其他難處理氣體的工藝，如真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)用途等。

MS 系列：是在 LS 系列基礎上改進的工藝耐受型，抽速有 115m3/h（MS120A）、560m3/h（MS600A）和 980m3/h（MS1200A）等不同規(guī)格，極限壓力可達 0.1Pa 以下。應用于半導體和電子器件制造設備的真空排氣系統(tǒng)，如蝕刻設備、去膠設備、等離子清洗設備等；真空熱處理爐的排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等；鋰電池制造設備的真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫氣設備、注液設備等；醫(yī)療及食品相關設備，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。