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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU600XE的特點
無油潔凈：采用無油運轉設計，避免了油對工藝腔體的污染，可確保環(huán)境潔凈無殘留，適用于對潔凈度要求的半導體、液晶、LED 及太陽能光伏等行業(yè)。
抽速高：最大抽速可達 10,000L/min。能快速有效地抽取氣體，可滿足中高負載的真空需求，能縮短設備的抽氣時間，提高生產效率。
極限壓力低：極限壓力為 0.5Pa，可獲得較高的真空度，能滿足對真空環(huán)境要求苛刻的工藝需求，如高精度的半導體鍍膜工藝等。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機，功率約 0.6kW，運行能效比優(yōu)于同類產品，可降低能耗與運行成本。
結構緊湊：尺寸為 530×230×520mm，重量約 120kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設備中，適合設備集成和改造項目。
維護便捷：采用模塊化結構，檢修流程簡單，無需復雜的拆卸和組裝過程，可降低維護成本和停機時間。
電源適應性強：電源為三相 AC200–220V，50/60Hz，能適應多種電力供應環(huán)境，方便在不同地區(qū)和場合使用。
運行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運轉，不易出現(xiàn)故障，且噪音低、振動小，連續(xù)排氣無脈動，能為工作環(huán)境提供較好的條件。
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