KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE1203X/TX的特點

抽氣速度快：最大抽氣速度可達(dá) 20,000L/min。能快速抽取氣體，可有效縮短抽氣時間，提高工作效率，適用于對真空環(huán)境建立速度要求高的工藝。

極限壓力低：極限壓力為 0.5Pa，可提供高真空度，滿足半導(dǎo)體制造、光學(xué)制造等對真空度要求苛刻的領(lǐng)域的需求。

耐腐蝕性強(qiáng)：采用垂直螺桿和特殊材料，通過結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定，使其具有高耐腐蝕性，能適應(yīng)各種復(fù)雜的工藝流程和惡劣的工作環(huán)境，可應(yīng)用于有腐蝕性氣體的工藝中。

節(jié)能高效：屬于節(jié)能型產(chǎn)品，通過優(yōu)化參數(shù)和新型加熱器系統(tǒng)與機(jī)械結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，實現(xiàn)了低功耗化。如 SDE120TX 功率僅為 1.5kW，在提供高抽氣性能的同時，降低了能源消耗，有助于降低使用成本。

運(yùn)行穩(wěn)定可靠：樫山工業(yè)在真空技術(shù)研究方面經(jīng)驗豐富，產(chǎn)品核心零部件采用高質(zhì)量材料制造，設(shè)備的立式螺絲結(jié)構(gòu)耐用，且對沉積物有較好的耐受性，能夠長時間穩(wěn)定運(yùn)行，減少故障發(fā)生頻率，提高設(shè)備的使用壽命。

電源適應(yīng)性廣：電源電壓為三相 AC200 - 220V、380 - 480V，50/60Hz，可適應(yīng)不同的供電環(huán)境，方便在不同地區(qū)和不同設(shè)備中使用。

工藝靈活性強(qiáng)：支持氮氣吹掃功能，氮氣流量可在 0 至 80SLM 范圍內(nèi)調(diào)節(jié)，增強(qiáng)了工藝靈活性，可滿足不同工藝需求。

產(chǎn)品兼容性好：支持與同系列設(shè)備協(xié)同工作，可擴(kuò)展應(yīng)用場景，例如可與 SDT600 或 SDX1200 等搭配使用，能更好地滿足不同用戶的多樣化需求。

小型化設(shè)計：以 SDE120TX 為例，外形尺寸為 695×285×820mm，機(jī)身小巧，節(jié)省安裝空間，便于在空間有限的場所安裝和使用。