• φ12.5mm 晶圓（單晶圓處理）

• 緊湊的外殼（約 30 cm 寬）

• 無需潔凈室

• 低功耗（額定 AC100V 10A）

• 超高真空（5 × 10 -5 Pa 或更低）

• 快速升溫和降溫（2.5 秒至 1100°C）

• 穩(wěn)定的溫度控制 （1100°C±0.5°C）

• 均勻的溫度分布（變化 （σ/平均值）：0.5%）

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2025.3.20