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日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀
參考價: 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號
  • OTSUKA/日本大塚 品牌
  • 代理商 廠商性質(zhì)
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):163更新時間:2025-02-21 15:03:03

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供
產(chǎn)品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學(xué)薄膜量測儀 藉由反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000機(jī)種90%的強(qiáng)大功能 無復(fù)雜設(shè)定,操作簡單,短時...
產(chǎn)品介紹

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀


產(chǎn)品信息

特 點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(tǒng)(第4834847號)

● 使用光學(xué)光纖,可靈活構(gòu)筑測量系統(tǒng)

● 可嵌入至各種制造設(shè)備。

● 實時測量膜厚

● 可對應(yīng)遠(yuǎn)程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項目

多層膜厚解析

用 途

光學(xué)薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

FPD相關(guān)(光刻膠、SOI、SiO2等)


設(shè)備構(gòu)成

單點型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實時測量

流向品質(zhì)管理

真空室適用

導(dǎo)線型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

設(shè)備構(gòu)成

單點型

            日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

半導(dǎo)體晶圓的面內(nèi)分布測量

玻璃基板的面內(nèi)分布測量

多點型

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實時測量

寬度方向品質(zhì)管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

核心特點

  1. 微區(qū)測量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動XY平臺(200×200mm),實現(xiàn)晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

  2. 跨行業(yè)適用性:專為半導(dǎo)體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計,支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

  3. 安全與擴(kuò)展性:區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機(jī)制,獨立測量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(inline)與實驗室研發(fā)需求。

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供



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