兼容微量元素濃度和成分分析

兼容從輕元素到重元素的多種元素：  4 Be 到92 U

高靈敏度硼檢測儀AD-Boron 

我們不斷開發(fā)新的光學系統(tǒng)，例如改進硼分析能力，以提高分析精度和穩(wěn)定性。 此外，為了保證穩(wěn)定性，標準配置了恒溫機構和真空度穩(wěn)定機構。

XY-θ驅(qū)動臺

XY-θ 驅(qū)動的樣品臺和測量方向設置程序可實現(xiàn)整個晶圓表面上的精確薄膜厚度和成分分布測量。 鐵電薄膜也不受衍射線的影響。

應用

半導體器件 BPSG, SiO 2 , Si 3 N4, ... 摻雜多晶硅(B,P,N,As), Wsix, ... Al-Cu, TiW, TiN, TaN, ... PZT, BST, SBT, ... MRAM，...　　
金屬膜W，Mo，Ti，Co，Ni，Al，Cu，Ir，Pt，Ru，...　　
磁盤CoCrTa，CoCrPt，...DLC，...NiP，。 ..　　
磁光盤Tb-FeCo、?　　
磁頭GMR、TMR、??

豐富的固定測角儀陣容

我們根據(jù)膜厚度和膜結構提供最佳的固定測角儀。我們還有一個專用的光學系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的 Wsix 薄膜。

全自動設備日常管理功能AutoCal

為了獲得準確的分析值，必須正確校準儀器。為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設備處于良好狀態(tài)。這種日常校準工作是自動化的，減少了操作員的工作量。 這就是“AutoCal 功能"。

兼容C to C自動傳輸

除了開放式盒式磁帶外，它還兼容 SMIF POD。兼容200mm以下的晶圓。 另外，可與上位機進行SECS通信，并兼容各種CIM/FA。

緊湊節(jié)能設計

主機設計緊湊，占地面積小于1平方米。采用無油變壓器，輔助設備緊湊，節(jié)能設計。