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應用領域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,綜合

日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

特點

超高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像。

0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像，顆粒表面細微的臺階結構清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。

樣品提供：日本工業(yè)技術綜合研究所上村佳大先生

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

3D NAND截面觀察（加速電壓：1.5kV）

快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*

由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像.

日立Hitachi日立新型冷場掃描電子顯微鏡

5納米制程SRAM的內(nèi)部結構觀察（加速電壓：30kV，掃描時間<1秒）

先進的自動化功能*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示，可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機和導航相機。可以通過使用兩個顯示器來擴展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。

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