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高速TDI-sCMOS相機(jī) Dhyana 9KTDI（簡(jiǎn)稱：9KTDI）背照式TDI 相機(jī)基于*的sCMOS 背照式減薄和TDI 時(shí)間積分技術(shù)，采用可靠穩(wěn)定的制冷封裝技術(shù)，覆蓋從180nm紫外到1100nm近紅外寬光譜，有效提升紫外TDI線掃、弱光掃描檢測(cè)能力，旨在為半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)、半導(dǎo)體材料缺陷檢測(cè)、基因測(cè)序等應(yīng)用提供更高效率、更穩(wěn)定的檢測(cè)支持。

180nm-1100nm寬光譜

高速TDI-sCMOS相機(jī) Dhyana 9KTDI 采用背照式 sCMOS 技術(shù)，已驗(yàn)證的響應(yīng)波段可覆蓋180 nm - 1100 nm區(qū)域。256級(jí) TDI技術(shù)可以大幅提升紫外（193nm/266nm/355nm等波段）、可見(jiàn)光、近紅外等弱光成像信噪比，提高設(shè)備檢測(cè)精度。

510kHz @ 9K 超高速線掃

Dhyana 9KTDI搭載CXP-12高速接口，支持1 x CXP-12 / 2 x CXP-12 / 4 x CXP-12靈活配置。 相機(jī)行頻最高可達(dá)9K @ 510 kHz，數(shù)據(jù)通量幾乎是目前主流8K線陣相機(jī)的6倍，背照式 CCD-TDI 相機(jī)的46倍，可大幅提高設(shè)備檢測(cè)效率。

先制冷降噪技術(shù)

相機(jī)高速運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的大量熱量，不僅會(huì)影響成像質(zhì)量，還會(huì)引起測(cè)量結(jié)果的波動(dòng)。鑫圖*水冷和風(fēng)冷技術(shù)，確保相機(jī)制冷性能即使長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行也能保持穩(wěn)定狀態(tài)，降低設(shè)備誤檢率。

典型應(yīng)用參考