KAIJO楷捷 半導(dǎo)體/FPD/HDD用超聲波清洗機(jī)，在清洗半導(dǎo)體晶圓、液晶面板和硬盤驅(qū)動(dòng)器部件時(shí)，可能會(huì)出現(xiàn)損壞問題。損壞的主要原因被認(rèn)為是空化現(xiàn)象。因此，在需要高精度清洗的情況下，通常會(huì)使用“中頻"（78k 至 430kHz）和“兆聲波"（500k 至 5MHz）的高頻超聲波清洗機(jī)，這些設(shè)備頻率較高，不易產(chǎn)生空化現(xiàn)象。 特別是“Qova系列"，其輸出功率控制精準(zhǔn)，適合用于清洗精密晶圓。此外，由于采用了混搭系統(tǒng)，即使更換振蕩器也無需進(jìn)行匹配調(diào)整。
KAIJO楷捷 半導(dǎo)體/FPD/HDD用超聲波清洗機(jī)的清洗方法，清洗半導(dǎo)體晶圓、LCD 面板、HDD 部件等的方法主要有兩種：批量處理法（在一個(gè)槽中同時(shí)清洗多個(gè)部件）和單晶圓清洗法（單獨(dú)清洗每個(gè)晶圓）。批量清洗法適合于在一個(gè)清洗槽中清洗多個(gè)物品的情況。將多個(gè)物品放入配備超聲波振子的清洗槽中一起清洗。常用的超聲波振子是隔膜式，但根據(jù)用途，也會(huì)使用浸入式振子和槽式振子（有關(guān)振子類型的信息，請(qǐng)參閱超聲波清洗器的配置）。
KAIJO楷捷單晶圓加工超聲波清洗，將高頻兆聲波（950 kHz 超聲波）置于約 1 mm 寬的水幕上，逐片清洗液晶顯示屏、半導(dǎo)體晶圓等。清洗時(shí)，可從下方進(jìn)行，很大程度地減少損傷，實(shí)現(xiàn)高精度清洗。清洗寬度可根據(jù)清洗物件進(jìn)行設(shè)計(jì)。可使用的超聲波振蕩器包括高頻兆聲波和高性能 Quarva。