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EV-SA20,EV-SA30-EBARA EV-SA系列真空干泵
  • EV-SA20,EV-SA30-EBARA  EV-SA系列真空干泵

貨物所在地:浙江杭州市

更新時(shí)間:2024-10-23 21:57:22

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EBARA EV-SA系列真空干泵
是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計(jì),最大排氣速度達(dá)到5000L/min,具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點(diǎn),除了用于生產(chǎn)工廠以外,還可用于實(shí)驗(yàn)室和研究室等各種不同環(huán)境,也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。

EBARA  EV-SA系列真空干泵

EBARA  EV-SA系列真空干泵


EBARA  EV-SA系列真空干泵

是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計(jì),最大排氣速度達(dá)到5000L/min具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點(diǎn),除了用于生產(chǎn)工廠以外,還可用于實(shí)驗(yàn)室和研究室等各種不同環(huán)境,也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。

技術(shù)特點(diǎn):

l                      小型、輕量、占地面積小

l                      風(fēng)冷

l                      節(jié)能

l                      低噪音

l                      雙螺桿結(jié)構(gòu)

l                      無需維護(hù)

l                      認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn): CE、SEMI-S2/NRTL


典型應(yīng)用:

l                      科研實(shí)驗(yàn)室

l                      PVD真空鍍膜

l                      質(zhì)譜儀

l                      等離子清洗

l                      半導(dǎo)體、光伏制程


技術(shù)參數(shù):

設(shè)備名稱

單位

EV-SA20

EV-SA30

EV-SA50


排氣速度

L/min

1,670

3,300

5,000


極限壓力

Pa

3.0/ 5.0*

2.0/ 3.0*

0.5/1.0*


連接口徑

吸氣口

NW40

NW40

NW50


排氣口

NW40

NW40

NW40

極限壓力時(shí)功率概值

kW

0.45

0.45

0.5


冷卻方式

空冷

空冷

空冷


電源

額定電壓 50/60Hz

單相 200-240V
三相 200-240V

單相 200-240V
三相 200-240V

單相 200-240V
三相 200-240V


電壓允許波動(dòng)范圍

±10%

±10%

±10%

電源容量

kVA

3.0

3.0

3.0

質(zhì)量概值

kg

65

90

150


*為氣鎮(zhèn)打開時(shí)數(shù)值




尺寸圖

EBARA  EV-SA系列真空干泵


        型號

EV-SA20

EV-SA30

  尺寸(mm

 584

  713

 324

  356

 347

  347





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