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| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）
SPTVI傳輸閥適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD，通過單軸氣動執(zhí)行器對閘門進(jìn)行I形運(yùn)動的技術(shù)。在I形運(yùn)動中，閘門垂直移動到關(guān)閉位置，在最后的運(yùn)動中，它被水平推到閘門座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閘門座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還最大限度地減少了密封磨損。
為了最大限度地減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配備了硫化密封O型圈。這是一種比標(biāo)準(zhǔn)O型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn)O型環(huán)密封也是可選的。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
如果發(fā)生電源故障，SPTVI可以機(jī)械鎖定在關(guān)閉位置。
SPTVI系列已經(jīng)安裝在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其出色的可靠性。SPTVI系列設(shè)計堅固，維護(hù)簡單，在各個方面都令人信服。
SPTVI傳輸閥始終根據(jù)客戶的規(guī)格量身定制。然而，預(yù)定義了四種基本設(shè)計類型：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)腔或外腔閥座的插入式閥門類型。
閥體材料選項包括鋁、硬質(zhì)陽極氧化、鍍鎳或不銹鋼。閘門和閥蓋密封采用FKM或FFKM。其他密封材料可應(yīng)要求提供。
特征：
l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）
l低振動。獲得認(rèn)證的I-motion連桿
l壽命長
優(yōu)點：
l焊接波紋管執(zhí)行器密封
l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落
應(yīng)用:
l半導(dǎo)體加工
l氣動鎖定（可選）
l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積
l太陽能電池板的制造
lLCD/平板工藝
PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V78系列）
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | 46 x 236 mm, 50 x 336 mm | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
閥體材質(zhì) | 鋁或不銹鋼 | |
進(jìn)料 | 波紋管 | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-9 mbar to 1.2 bar (abs) | |
壓差 | On the Gate | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥200萬次 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | EN AW-6061 (3.3211) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 |
閥門 | FKM(Viton®) or FFKM Kalrez 9100 | |
安裝位置 | 執(zhí)行器上方或下方 | |
電磁閥 | 24 VDC，2.5 W（其他應(yīng)要求） | |
位置指示器：觸點額定 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | 9針微型D口 | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 6 mm |
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