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數(shù)碼顯微鏡在微電子和電子行業(yè)的應(yīng)用

閱讀:1669      發(fā)布時(shí)間:2021-1-19
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微電子和電子學(xué)的革新導(dǎo)致了樣品越來越小,傳統(tǒng)的雙目顯微鏡也在不斷面臨挑戰(zhàn)。然而數(shù)碼顯微鏡不使用目鏡,而是用戶可直接通過顯示器進(jìn)行觀察的特點(diǎn),讓微電子的觀察效率有了很大的提高。

控制(QC/QA)或開發(fā)(R&D)時(shí),一些微電子器件的生產(chǎn),如硬盤驅(qū)動(dòng)器,要求對(duì)其各個(gè)部件進(jìn)行檢查和質(zhì)量控制,全尺寸:從宏觀(>2毫米)->介觀尺度(10mm~25μm->微觀尺度(1000μm~500nm->納米尺度(<500nm)。需要使用數(shù)碼顯微鏡對(duì)零件快速進(jìn)行大視野成像,以及尺寸計(jì)量。從而滿足更快的改進(jìn)制作規(guī)范以及生產(chǎn)需求,優(yōu)化整個(gè)工作流程。使用徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡的以下性能,可快速得出檢查的可靠結(jié)果。本報(bào)告的重點(diǎn)將是大視野、測(cè)量功能及傾斜角度(下述紅色字體部分)。

 

自動(dòng)跟蹤和存儲(chǔ)的可重復(fù),顯微鏡重要的硬件參數(shù)可記憶(編碼),例如,使用的倍數(shù),照明和相機(jī)設(shè)置等參數(shù)條件可快速重現(xiàn);

超大變焦范圍161,鏡頭切換支持熱插拔;

二維尺寸測(cè)量及三維尺寸測(cè)量

快速角度旋轉(zhuǎn),傾斜角度不同視角觀察樣品;

集成LED(發(fā)光二極管)環(huán)形光和同軸光,具有多方向的照明模式;

數(shù)字快照和數(shù)字10MP的數(shù)碼相機(jī),高畫質(zhì)成像;

XY拼圖功能和Z軸掃描成像功能,可拍攝大范圍大景深的圖像;

 

徠卡DVM6數(shù)碼顯微鏡滿足微觀尺寸(10mm~500nm)的觀察,例如在電子零件領(lǐng)域用于測(cè)量硬盤驅(qū)動(dòng)器上零件通孔的直徑、周長和深度分布,以及焊點(diǎn)的長度、面積和高度分布。

2-1.png 

1、一顆鏡頭觀察宏觀及微觀:

16:1超大變倍比,一顆鏡頭即可從宏觀觀察到微觀結(jié)構(gòu)。

2-2.png 

2、二維及三維測(cè)量功能:

不僅可對(duì)平面進(jìn)行數(shù)據(jù)測(cè)量,還具備了EDOF景深疊加功能,疊加后的圖像可進(jìn)一步進(jìn)行三維尺寸測(cè)量。

2-3.png 

2-4.png 

3、使用DVM6旋轉(zhuǎn)角度功能進(jìn)行觀察各方位樣品:

支架可傾斜±60°,載物臺(tái)可旋轉(zhuǎn)±180度,無需改變樣品角度。

2-5.png 

總結(jié)

 

微電子和電子工業(yè)與日俱增,需要更快更便宜的設(shè)備生產(chǎn),同時(shí)滿足不斷提高產(chǎn)品規(guī)格的要求。從而導(dǎo)致制造商的工作流程變得更為復(fù)雜,對(duì)工作流程的效率要求也越來越高。DVM6數(shù)碼顯微鏡無目鏡,直接觀察顯示器的特點(diǎn)以及符合人體工學(xué),無論是在產(chǎn)品創(chuàng)新、研究和開發(fā)(R&D)、生產(chǎn)、質(zhì)量控制與保證(QC/QA)或失效分析(FA),都能大大提高工作效率,減少成本增加效益。

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