納米壓痕技術(shù)

該技術(shù)的成功取決于對(duì)接觸機(jī)理的理解和高級(jí)數(shù)據(jù)采集工具的可用性。基本思想是，當(dāng)我們使用非常小的探針/壓頭來(lái)探查材料時(shí)，可以基于探針與材料的相互作用來(lái)預(yù)測(cè)材料的性能。背后的物理學(xué)可以追溯到1800年代，當(dāng)時(shí)Hertz，Sneddon和許多其他研究人員開(kāi)發(fā)了兩體接觸所需的接觸力學(xué)，但是直到1990年代，Oliver和Pharr才將其進(jìn)一步發(fā)展并找到了一種測(cè)量模量和強(qiáng)度的方法。材料與另一種已知材料接觸的硬度。

硬件更新

具有實(shí)時(shí)傳感位置的閉環(huán)X/Y/Z平臺(tái)（80 nm分辨率）

更強(qiáng)大的可重復(fù)測(cè)量

提高查找表面速度10倍

無(wú)聲運(yùn)動(dòng)

高精度力學(xué)測(cè)量

最小化樣品的預(yù)應(yīng)力

更深的壓痕測(cè)量深度(100 µm)

軟件更新

保存并優(yōu)化實(shí)驗(yàn)配置以*自動(dòng)化測(cè)量

優(yōu)化的粘附模式允許測(cè)量表面更“粘"樣品

測(cè)量期間干涉信號(hào)的實(shí)時(shí)校準(zhǔn)